超純水是美國(guó)科技界為了研制超純材料（半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等）應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來(lái)的水，這種水中除了水分子（H20）外，幾乎沒有任何雜質(zhì)，更沒有細(xì)菌、病毒、含氯二惡英等有機(jī)物，當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，一般不可直接飲用，對(duì)身體有害，會(huì)析出人體中很多離子。詳細(xì)情況請(qǐng)：余艷，:
     制作18x106Ω•cm以上的超純水,是一般工藝很難達(dá)到的程度，采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理四大步驟，多級(jí)過(guò)濾、高性能離子交換單元、超濾過(guò)濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，同時(shí)對(duì)終端出水使用的管路都需要有一定的要求，電阻率方可達(dá)18.25MΩ*cm
中國(guó)國(guó)家實(shí)驗(yàn)室用水規(guī)格GB6682-92標(biāo)準(zhǔn),點(diǎn)擊行業(yè)應(yīng)用查詢標(biāo)準(zhǔn)
中國(guó)國(guó)家實(shí)驗(yàn)室用水GB6682-2000標(biāo)準(zhǔn),點(diǎn)擊行業(yè)應(yīng)用查詢標(biāo)準(zhǔn)。詳細(xì)情況請(qǐng)：余艷

制備超純水設(shè)備的工藝大致分成以下幾種：
　　1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：原水→沙碳過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→原水箱→陽(yáng)床→陰床→混床→純水箱→純水泵→后置精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)
　　2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合的方式，其基本工藝流程為：原水→沙碳過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→反滲透設(shè)備→原水箱→純水泵→混床→后置精密過(guò)濾器→純水箱→用水點(diǎn)
　　3、采用反滲透水處理設(shè)備與電去離子（EDI）設(shè)備進(jìn)行搭配的的方式，這是一種制取超純水的工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟(jì)，發(fā)展?jié)摿薮蟮某?/font>純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水→沙碳過(guò)濾器→保安過(guò)濾器→反滲透設(shè)備→原水箱→純水泵→電去離子（EDI）→純水箱→用水點(diǎn)
     4、采用反滲透+混合床方式，其流程如下：
原水→原水加壓泵→砂碳過(guò)濾器→保安過(guò)濾器→反滲透→中間水箱→中間水泵→混合床→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn) 

詳細(xì)情況請(qǐng)：余艷
以下為一經(jīng)典18x106Ω•cm工藝流程及圖片：
原水→原水泵→砂碳過(guò)濾器→加藥裝置→一級(jí)反滲透→中間水箱→PH調(diào)節(jié)裝置→二級(jí)反滲透→二級(jí)水箱→輸送泵→精密過(guò)濾器→TOC去除機(jī)→EDI→超純水箱→輸送泵→拋光混床→UV殺菌器→精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)

常用行業(yè)：
集成電路工業(yè)中用于半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水
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