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HMDS涂布機(jī),HMDS涂膠烤箱 工業(yè)烘箱

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司
  • 品       牌雋思
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2023/7/9 9:54:12
  • 訪問次數(shù)3642
產(chǎn)品標(biāo)簽:

HMDS烤箱HMDS涂膠烘箱涂布機(jī)hmds

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上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司(以下簡稱“雋思儀器”)是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備、環(huán)境模擬儀器設(shè)備、線纜試驗(yàn)機(jī)、橡塑試驗(yàn)檢測設(shè)備、黑蒜設(shè)備等的高新技術(shù)型企業(yè),具有很強(qiáng)的自主開發(fā)、設(shè)計(jì)能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來,公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨,為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國內(nèi)外客戶的*好評,更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務(wù)有HMDS預(yù)處理系統(tǒng),HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級潔凈烘箱,氮?dú)夂嫦?,高溫?zé)o氧烘箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機(jī),精密恒溫加熱臺,快速高低溫氣流儀,超低溫試驗(yàn)箱,高低溫試驗(yàn)箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測儀,黑蒜發(fā)酵設(shè)備,導(dǎo)體直流電阻測試儀,電線電纜檢測儀器,真空烘箱,黑蒜試驗(yàn)機(jī),橡塑檢測試驗(yàn)機(jī)等。
    不斷追求技術(shù)進(jìn)步、提升專業(yè)服務(wù)能力,做一個(gè)專業(yè)的儀器設(shè)備供應(yīng)商是我們的發(fā)展目標(biāo)。企業(yè)內(nèi)部實(shí)施了CRM、ERP項(xiàng)目管理,在產(chǎn)品開發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應(yīng)鏈、人力資源管理、財(cái)務(wù)管理等諸多方面取得了長足發(fā)展。同時(shí)建立了標(biāo)準(zhǔn)化的服務(wù)流程,形成了覆蓋全國的快速服務(wù)網(wǎng)絡(luò),以盡心盡責(zé)的服務(wù)理念和完備的技術(shù)得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機(jī)會,以飽滿的熱情、真誠的服務(wù)與您共創(chuàng)燦爛的未來!





HMDS烘箱,百級潔凈烘箱,氮?dú)夂嫦?,高溫?zé)o氧烘箱,PI烤箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機(jī),精密恒溫加熱臺,超低溫試驗(yàn)箱
類型 真空
HMDS涂布機(jī),HMDS涂膠烤箱用于光刻工藝中基板疏水化處理, HMDS 涂布的原理,較常用的黏附劑是六甲基二硅胺烷(HMDS)。在提升光刻膠的黏附性工藝中,實(shí)際上六甲基二硅烷并不是作為粘結(jié)劑所產(chǎn)生作用的,而是HMDS 改變了 SiO2 的界面結(jié)構(gòu),從而使晶圓的性質(zhì)由親水性表面轉(zhuǎn)變?yōu)槭杷员砻妗?
HMDS涂布機(jī),HMDS涂膠烤箱 工業(yè)烘箱 產(chǎn)品信息

HMDS涂布機(jī),HMDS涂膠烤箱原理:

  HMDS涂膠烤箱用于光刻工藝中基板疏水化處理, HMDS 涂布的原理,常用的黏附劑是六甲基二硅胺烷(HMDS)。在提升光刻膠的黏附性工藝中,實(shí)際上六甲基二硅烷并不是作為粘結(jié)劑所產(chǎn)生作用的,而是HMDS 改變了 SiO2 的界面結(jié)構(gòu),從而使晶圓的性質(zhì)由親水性表面轉(zhuǎn)變?yōu)槭杷员砻妗?/span>

  光刻膠與晶圓表面之間的黏附性問題,除了受到分子鍵合的影響,還受到其他重要因素的影響。如表面的水分就是其中的主要因素,會減少黏附性,從而造成掀膠和側(cè)向腐蝕。HMDS 涂布是涂膠前對硅片表面進(jìn)行處理,可以增加硅片表面水分子的接觸角,使硅片表面從親水性轉(zhuǎn)化為疏水性。

  HMDS 涂布機(jī)采用蒸汽涂布的方式。簡單評價(jià)晶圓的表面黏附性好壞,可以將晶圓進(jìn)行 HMDS 涂布,然后在晶圓的表面滴一滴水珠,然后通過測量水珠的接觸角,來進(jìn)行晶圓表面黏附性好壞的判斷。接觸角的測量方法如下圖所示,當(dāng)接觸角角度越大,說明黏附性越好,也就意味著疏水性越強(qiáng)。

HMDS涂布機(jī),HMDS涂膠烤箱技術(shù)參數(shù):


項(xiàng)目

雋思JS-HMDS90-AI

內(nèi)膽大小

450*450*450(可選數(shù)據(jù))

cycle run(4寸產(chǎn)品)

200

溫度范圍

室溫+10-250

HMDS加熱功能

HMDS流量控制

時(shí)間/調(diào)壓閥,無flow meter

尾氣排放

溫度精度

分辨率:0.1 波動度:±1℃

真空泵

油泵或愛德華干泵,133PA 

載物托架

兩層

溫度控制

微電腦智能控溫儀

Recipe設(shè)定

人機(jī)交互界面,PLC編程

N2循環(huán)

真空/N2 循環(huán)

HMDS系統(tǒng)

自動添加、自動吸取、添加量控制

保護(hù)裝置

緊急停止,跳電保護(hù),超溫保護(hù)

其他

耐高溫手套,說明書


關(guān)鍵詞:真空泵
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