NANO-MASTER提供兆聲硅片清洗機，用于*的無損兆聲清洗?？梢赃m用于易受損的帶圖案或無圖案的基片，包含帶保護膜的掩模版。為了在確保不損傷基片的情況下達到*化的清洗效果，兆聲能量的密度必須保持在稍稍低于樣片上任意位置上的損傷閾值。NANO-MASTER的技術(shù)確保了聲波能量均勻分布到整個基片表面，通過分布能量的zui大化達到理想的清洗，同時保證在樣片的損傷閾值范圍內(nèi)。
通過聯(lián)合使用化學(xué)試劑滴膠和NANO-MASTER的兆聲清洗技術(shù)，系統(tǒng)去除顆粒的能力得到進一步優(yōu)化。顆粒從表面被釋放的能力也因此得到提升，從而被釋放的顆粒在幅流的DI水作用下被掃除出去，而把回附的數(shù)量降到了zui低水平。從基片表面被去除。如果沒有使用幅流DI水的優(yōu)勢，*的靜態(tài)可循環(huán)兆聲清洗槽會有更大數(shù)量的顆粒回附，并且因此需要更多的去除這些顆粒。
SWC是一款帶有小占地面積的理想設(shè)備，并且很容易安裝在空間有限的超凈間中。該系列設(shè)備都具有出眾的清洗能力，并可用于非常廣泛的基片。
硅片清洗機的特點：
- 支持12”直徑的圓片或9”x9”方片
- 獨立系統(tǒng)
- 無損兆聲,試劑，毛刷清洗及旋轉(zhuǎn)甩干
- 微處理機自動控制
- 化學(xué)試劑滴膠單元
- 溶劑與酸分離排廢
- 熱氮
- 30”D x 26”W 的占地面積
兆聲無損選配項：
- 掩模板或晶圓片夾具
- 臭氧清洗
- PVA軟毛刷清洗
- 高壓DI清洗
- 氮氣離子發(fā)生器
