RTS-11型金屬四探針測(cè)試儀
于測(cè)試低阻金屬材料電阻率及方塊電阻
測(cè)量范圍:電阻率:10-7~10-2Ω.cm; 方塊電阻:10-6~10-1Ω/□;
RTS-11型金屬四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,于測(cè)試金屬材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成,測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。
儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
本儀器適用于工廠、科研單位、高等院校對(duì)金屬材料的電阻性能測(cè)試。
RTS-11型四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序,通過此測(cè)試程序輔助使用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析
測(cè)量范圍:
電阻率:10-7~10-2 Ω.cm;
方塊電阻:10-6~10-1 Ω/□;
電導(dǎo)率:102~107 s/cm;
電阻:10-7~10-2 Ω;
可測(cè)晶片直徑
140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái));
200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái));
400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái));
恒流源 電流量程分為0.1A、1A、10A三檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表
量程及表示形式:00.000~19.999mV;
分辨力:1μV;
輸入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.5%;
顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動(dòng)顯示;
四探針探頭基本指標(biāo)
間距:1±0.01mm;
針間絕緣電阻:≥1000MΩ;
機(jī)械游移率:≤0.3%;
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
探針壓力:5~16 牛頓(總力);
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) 見合格證
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差( 按JJG508-87進(jìn)行)
0.0001Ω、0.001Ω、0.01Ω≤0.5%±1字
整機(jī)測(cè)量ZUI大相對(duì)誤差
用標(biāo)準(zhǔn)電阻(0.0001Ω~0.01Ω)測(cè)試≤±3%
整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤8%
軟件功能(選配)軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù),并統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)ZUI大值、ZUI小值、平均值、ZUI大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動(dòng)測(cè)量功能,根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測(cè)試。
計(jì)算機(jī)通訊接口并口,高速并行采集數(shù)據(jù),連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要1.5 秒
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境
溫度:23±2℃;
相對(duì)濕度:≤65%;
無高頻干擾;
無強(qiáng)光直射;