半導(dǎo)體高真空氮?dú)夂嫦?/strong>
適用范圍：
半導(dǎo)體高真空氮?dú)夂嫦?/strong>適用于各行業(yè)如光電、硅晶片、電子芯片、電池、線路板、電子電器、制藥、化工、塑膠、硅膠等真空脫泡處理及真空狀態(tài)下烘烤，可充惰性氣體，生產(chǎn)車間、實(shí)驗(yàn)室及科研單位測(cè)試之要求設(shè)備。
箱體規(guī)格：
1、內(nèi)尺寸：600（寬）×600（深）×600（高）mm；
2、外尺寸約：900（寬）×830（深）×1520（高）mm；以實(shí)物為準(zhǔn)；
3、箱體結(jié)構(gòu)：為一體式，真空泵置于機(jī)臺(tái)下部；
4、隔層：內(nèi)分二層，不銹鋼網(wǎng)板二片，可活動(dòng)抽出；
5、面板安裝：控制面板安裝于機(jī)臺(tái)下方；
6、開門方式：?jiǎn)斡捎抑磷箝_啟，門上帶可視窗W300*H350mm；
7、內(nèi)材質(zhì)為：不銹鋼板，厚5.0mm；內(nèi)箱加強(qiáng)處理，抽真空不變形；
8、外材質(zhì)為：冷軋鋼板,厚1.2mm,粉體烤漆處理(米白色)；
9、保溫材質(zhì)為：耐高溫巖棉，保溫效果好；
10、安裝帶剎車活動(dòng)腳輪，可任意推動(dòng)；
控溫系統(tǒng)：
1、溫度控制器為數(shù)顯儀表，單點(diǎn)式控溫，可自動(dòng)演算，PV/SV同時(shí)顯示，按鍵設(shè)定；
2、定時(shí)功能：采用歐姆龍計(jì)時(shí)器，時(shí)間結(jié)束后停止加熱及抽真空功能，同時(shí)報(bào)警提示
3、感溫線（K）型；
4、輸出為3-32V；
5、電流控制器為：PID+SSR固態(tài)繼電器；
6、加熱方式：采用三面加熱的熱輻射的方式；（左、右、底三面）
7、發(fā)熱材料為：不銹鋼高溫加熱管；
8、溫度范圍：常溫+30℃～250℃（之間可調(diào)可控）；
9、控制精度：±0.5℃;
10、顯示精度：0.1℃；
11、箱內(nèi)溫度偏差：±5.0℃.(無(wú)真空下空載測(cè)試)
真空系統(tǒng)：
1、門口密封方式：機(jī)臺(tái)門口采用高密度性的硅膠密封條密封；
2、真空顯示方式：采用真空計(jì)顯示真空度；
3、真空控制方式為：自動(dòng)控制，抽真空達(dá)到設(shè)定值時(shí)停止真空泵工作，低于上限值時(shí)自動(dòng)補(bǔ)真空，以此循環(huán)工作保持真空恒定狀態(tài)；
4、泄壓方式：試驗(yàn)結(jié)束后手動(dòng)啟動(dòng)泄壓功能泄壓，采用電磁閥控制泄壓；
5、機(jī)臺(tái)真空度范圍：≤1.0×105～1.0×101 (Pa)，【即10pa】
6、真空保壓泄漏率：0.01Pa/L每秒；
7、真空管：采用不銹鋼真空波紋管；
8、真空感應(yīng)器：采用KF16真空電阻規(guī)管；
9、真空設(shè)定方式：根據(jù)需要真空度可自由設(shè)定，如真空度為（100Pa）儀表設(shè)定(1.0 E 2)，如真空度為（10Pa）儀表設(shè)定(1.0 E 1)等等, 采用上、下限控制抽真空及停止抽真空；
10、真空控制閥：采用KF40接頭高真空帶充氣壓差閥；
11、真空泵配置：采用雙級(jí)直連式油泵.
12、真空度顯示方式：采用電阻真空計(jì)顯示真度值,顯示方式為科學(xué)計(jì)數(shù)法方式
充氮?dú)庋b置：
1、調(diào)壓閥：控制氮?dú)鈮毫?，正常使用下氮?dú)鈮毫φ{(diào)為2-3公斤左右；
2、流量計(jì)：控制氮?dú)膺M(jìn)入箱內(nèi)的大小，量程為10L/min-60Lmin；
3、充氮管道：氮?dú)夤艿肋M(jìn)入到箱內(nèi)正后面，外配2米長(zhǎng)8mm氣管；
4、充氮?dú)饪冢阂粋€(gè)氮?dú)饪壮淙氲较鋬?nèi)；
5、氮?dú)庠矗菏褂梅焦咎峁┑獨(dú)庠?
電源功率：
1、電壓：AC 380V/50Hz三相五線制
2、電流：14A
3、功率：9.0KW
保護(hù)系統(tǒng)：
1、超溫保護(hù)系統(tǒng)：溫度失控時(shí)，超過超溫保護(hù)設(shè)定溫度時(shí)，自動(dòng)停止加熱供電，從而保護(hù)產(chǎn)品及機(jī)器的安全。
2、電路保護(hù)系統(tǒng)：接地保護(hù)、快遞保險(xiǎn)、缺相保護(hù)、過載保護(hù)、斷路開關(guān)等；
