真空等離子清洗機(Plasma cleaner)，氣體通過激勵電源離化成等離子態(tài)，等離子體作用于產(chǎn)品表面，清洗產(chǎn)品表面污染物，提高表面活性，增強附著性能。等離子清洗是一種新型的、環(huán)保、高效、穩(wěn)定的表面處理方式。
產(chǎn)品特點：
產(chǎn)品放置治具靈活多變，可適應(yīng)不規(guī)則的產(chǎn)品
水平電極設(shè)計，可滿足軟性產(chǎn)品處理需求
低耗能、耗氣產(chǎn)品
便捷的收放板方式
真空系統(tǒng)集成，占地面積小
合理的等離子反應(yīng)空間，使處理更均勻
集成的控制系統(tǒng)設(shè)計，使操作更方便
產(chǎn)品參數(shù)：
型 號 | 真空等離子清洗機 | HSR-150B | HSR-100B | HSR-60B |
電源系統(tǒng)
| 電源 | 射頻電源 | ||
功率 | 0~600W | |||
頻率 | 13.56MHz | |||
真空系統(tǒng)
| 雙級旋片泵（油泵） | 羅茨泵+單級旋片泵 | 60?/h | 40?/h |
真空管路 | 全不銹鋼管路，以及高強度真空波紋管 | |||
材質(zhì) | 鋁合金（可定制不銹鋼腔體） | |||
厚度 | 25mm | |||
密封性 | 軍事級焊接密封 | |||
腔體內(nèi)部尺寸 （寬×高×深） | 500×670×500mm | 400×450×500mm | 375×375×430mm | |
電極板有效尺寸 （寬×深） | 587×470mm | 420×411mm | 345×344mm | |
可用空間間距 | 34mm | 22.5mm | 22.5mm | |
電極板布置方式 | 水平布置，可活動抽取 | |||
工作托盤 | 標(biāo)配一套，材質(zhì)可選配(鋁材、鋼絲網(wǎng)） | |||
工作空間 | 3層 | 8層 | 上下 2 層 | |
氣體系統(tǒng) | 流量范圍 | 0~300SCCM | ||
工藝氣體氣路 | 氬氣 | 標(biāo)配兩路，可定制 | 標(biāo)配兩路，可定制 | |
控制系統(tǒng) | 系統(tǒng)控制 | PLC | ||
交付方式 | 7 寸觸控屏幕 | |||
其它參數(shù) | 外形尺寸（mm) （寬×高×深） | 1020×1720×1120 | 900×1750×1000mm | 900×1600×900mm |
重量 | 350KG | 200KG | 150KG | |
設(shè)備外觀顏色 | 銀灰色 | |||
應(yīng)用領(lǐng)域：
● PI 表面粗化及清潔
● PSS 的蝕刻
● ITO 膜的蝕刻
● 半導(dǎo)體硅片 PN 結(jié)的去除
● Wire Bonding 前焊盤的表面清洗
● HDI 板孔底及孔壁鉆污的清潔
● PCB 孔內(nèi)鉆污及表面清潔
● Coverlay 表面粗化及清潔
● Teflon 板的活化及孔內(nèi)鉆污清潔
● 軟硬結(jié)合板孔內(nèi)鉆污及表面清
● ABS 塑料的活化和清洗
● LED 封裝前的表面活化和清洗
● 陶瓷封裝電鍍前的清洗
● 手機外殼及屏幕的活化和清洗
● FPC 孔內(nèi)鉆污清潔與表面清潔
● 電子材料表面改性和表面清洗
● 其他材料的表面清潔
● 塑膠材質(zhì)表面改性、表面粗化
● ITO 涂覆前表面清洗
