射頻真空等離子清洗機產(chǎn)品介紹:
1、獨立數(shù)顯射頻電源
2、強力去除光刻膠有機污染物
3、腔體內(nèi)部接近常溫
4、科研改性
5、媒粉灰化處理
技術(shù)參數(shù):
1、獨立數(shù)顯射頻電源
2、強力去除光刻膠有機污染物
3、腔體內(nèi)部接近常溫
4、科研改性
5、媒粉灰化處理
技術(shù)參數(shù):
型號 | PT-2ST | PT-5ST | PT-10ST | PT-15ST |
腔體材質(zhì) | 316不銹部表面處理 | |||
腔體尺寸 | Φ100x270L | Φ150x270Lmm | 220x260x200mm L*W*H | 320x260x200mm |
腔體容量 | 2L | 5L | 10L | 15L |
外形尺寸 | 560x540x550mm L*W*H | 560x540x550mm L*W*H | 650x550x580mm L*W*H | 650x550x650mm L*W*H |
電源頻率 | 13.56MHZ | |||
電源功率 | 0-200W(手動匹配) | 0-300W(自動匹配) | 0-500W(自動匹配) | |
流量計 | 高精密2路浮子流量計 | |||
真空計 | 壓力表(量化值顯示) | |||
控制過程 | 全自動控制與手動(PLC人機界面) | |||
清洗時間 | 0-99999S可調(diào) | |||
真空度 | 1-30pa | |||
腔體溫度 | <30℃ | |||
供電電壓 | 220V | |||
真空泵 | 2XZ-2(抽速2L/S) | 2XZ-4(抽速4L/S) |