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HMDS增粘裝置,涂敷HMDS增粘劑的裝置

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  • 公司名稱上海雋思實驗儀器有限公司
  • 品       牌雋思
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2022/3/7 16:43:00
  • 訪問次數(shù)1500
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上海雋思實驗儀器有限公司(以下簡稱“雋思儀器”)是一家專業(yè)從事儀器設備研發(fā)、生產、銷售及服務的企業(yè)。主要生產半導體工藝設備、環(huán)境模擬儀器設備、線纜試驗機、橡塑試驗檢測設備、黑蒜設備等的高新技術型企業(yè),具有很強的自主開發(fā)、設計能力,服務于電子、電力、通訊、環(huán)保、農業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來,公司以“真摯的服務、優(yōu)質的品質”為宗旨,為國內外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務。贏得了國內外客戶的*好評,更為我們業(yè)務的快速發(fā)展奠定了一定的基礎。我們的服務也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務有HMDS預處理系統(tǒng),HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,快速高低溫氣流儀,超低溫試驗箱高低溫試驗箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測儀,黑蒜發(fā)酵設備,導體直流電阻測試儀,電線電纜檢測儀器,真空烘箱,黑蒜試驗機,橡塑檢測試驗機等。
    不斷追求技術進步、提升專業(yè)服務能力,做一個專業(yè)的儀器設備供應商是我們的發(fā)展目標。企業(yè)內部實施了CRM、ERP項目管理,在產品開發(fā)、質量控制、集成供應鏈、人力資源管理、財務管理等諸多方面取得了長足發(fā)展。同時建立了標準化的服務流程,形成了覆蓋全國的快速服務網絡,以盡心盡責的服務理念和完備的技術得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機會,以飽滿的熱情、真誠的服務與您共創(chuàng)燦爛的未來!





HMDS烘箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,PI烤箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,超低溫試驗箱
材質 304 工作室尺寸 300mm
功率 3.0 加工定制
類型 真空 溫度范圍 200℃
HMDS增粘裝置,涂敷HMDS增粘劑的裝置通過對箱體內預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,增加了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。
HMDS增粘裝置,涂敷HMDS增粘劑的裝置 產品信息

HMDS增粘裝置,涂敷HMDS增粘劑的裝置用途:

  HMDS增粘裝置通過對箱體內預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,增加了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

HMDS增粘裝置,涂敷HMDS增粘劑的裝置技術性能:

尺寸(深*寬*高):

  內腔尺寸:300×300×300(mm)

  外形尺寸:500×680×780(mm)

材質 :外箱采用優(yōu)質不銹鋼,內箱采用316L醫(yī)用級不銹鋼

溫度使用范圍: 80-200℃

溫度分辨率: 0.1℃

溫度波動度: ≤±0.5

真空度: ≤100pa(1torr)

潔凈度: 設備采用無塵材料,適用100級光刻間凈化環(huán)境

電源及總功率: AC 220V±10% / 50HZ  , 總功率約2.5KW    

控制儀表: 人機界面

擱板層數(shù): 一層

HMDS控制: 可控制HMDS藥液添加量

真空泵: 無油渦旋真空泵

HMDS增粘裝置使用環(huán)境

安裝設備使用空開電源,220V、3.0KW ;

工業(yè)用氮氣純度99.999%,壓力0.2MP,?8mm軟管快插接口;    

尾氣排放KF25閥接口;

周圍無強烈電磁場影響,周圍無強烈震動;

潔凈車間,周圍無高濃度粉塵及腐蝕性物質;

無陽光直接照射或其它熱源直接輻射;

周圍無強烈氣流,當周圍空氣需要強制流動時,氣流不應在直接吹到箱體上;

設備應放在堅固平穩(wěn)的平面上,并使其保持水平狀態(tài);

環(huán)境溫、濕度5℃~+35℃,相對濕度:≤85%;



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