功能特性:
技術(shù)成熟可靠
核心部件均為
配比精度高,響應(yīng)時(shí)間段
模塊化設(shè)計(jì)
HMI觸摸屏,操作簡(jiǎn)便
內(nèi)置MFC標(biāo)定校準(zhǔn)程序
技術(shù)特性:
質(zhì)量流量計(jì)準(zhǔn)確度:<1%F.S
質(zhì)量流量計(jì)重復(fù)性:<0.25%F.S
零氣流量:10sl/min
標(biāo)氣流量:100sml/min
標(biāo)氣入口:3通道
臭氧發(fā)生器輸出濃度:5ppm/1slpm
操作溫度:0-45攝氏度
*大稀釋比:1000:1
響應(yīng)時(shí)間:60s
電源:220VAC@50Hz
尺寸:440mm(寬)*178mm(高*420mm(深)(參考)
標(biāo)準(zhǔn)配置:主機(jī)一套、電源線一根、說(shuō)明書(shū)一份