普發(fā)分子泵 HiPace   1200-2300系列渦輪分子泵可以倒裝安裝，經(jīng)過實踐證明的軸承技術(shù)確保了其的可靠性。成熟的轉(zhuǎn)子設(shè)計使其具有更出色的抽速，更好的前級泵兼容性和更大的氣流量，對于小分子氣體具有更高的壓縮比。集成可靠的智能傳感器系統(tǒng)，HiPace系統(tǒng)當(dāng)仁不讓的成為市場上安全性能非常好的產(chǎn)品。

 普發(fā)分子泵 產(chǎn)品優(yōu)勢：

 從1000-2000L/S提供四個抽速等級

 對于小分子量氣體（H2 He），和大分子量氣體（Ar、CF4）都有很高的抽速

   即便對大分子量氣體（Ar，CF4)也有很高的氣流量

    安裝角度可選0°-90°和90°-180°

   有抗腐蝕性氣體型號可選（C型號）

   帶節(jié)流閥和閥門的集成凈化氣體系統(tǒng)

   電壓范圍：90-265V

   界面接口：RS-485，遠程控制；Profibus和DeviceNet可選

   獲得SEMI S2，UL,CSA和TUV認證

   防護等級IP54符合工業(yè)環(huán)境應(yīng)用要求

   可能的符合各種工藝流程，能夠忍受顆粒物

   普發(fā)分子泵應(yīng)用領(lǐng)域：

                   半導(dǎo)體

                   真空爐

                   質(zhì)樸分析

                   鍍膜、研發(fā)

                   工業(yè)檢漏

           普發(fā)分子泵 系列型號： 
 

                  HiPace 1200

                  HiPace   ¹⁵⁰⁰
                  HiPace   ¹⁸⁰⁰
                  HiPace   ²³⁰⁰