技術參數(shù)
半導體制造用CSE系列1/4”SWG囊式濾芯
材料結構 | |
濾材 | 參見訂購信息 |
內芯支撐層 | 聚丙烯 |
外殼 & 骨架 | 聚丙烯 |
密封技術 | 熱熔焊(無粘合劑) |
接口形式 | |
進出口 排氣/排污口 | 1/4”SWG 1/4”SWG |
過濾面積 | |
≥ 1.1 ft2 (0.1 m2 ) | |
過濾精度, μm | |
聚丙烯:0.1, 0.2, 0.45, 0.65, 1.0, 3.0, 5.0, 10, 20 聚醚砜:0.1, 0.22, 0.45, 0.65, 0.8, 1.2 尼龍:0.1, 0.22, 0.45, 1.0, 3.0, 5.0 疏水液體聚四氟乙烯:0.05, 0.1, 0.22, 0.45, 1.0 親水液體聚四氟乙烯:0.1, 0.22, 0.45, 1.0 疏水空氣聚四氟乙烯:0.01 玻璃纖維:0.45, 1.0, 3.0, 5.0 聚偏二氟乙烯:0.1, 0.22, 0.45, 1.0, 3.0, 5.0 | |
操作溫度 | |
60℃(140 ℉) | |
可耐正向壓差 | |
液體:3.5 bar @ 23 ℃, 3.0 bar@60℃ (50.8 psid@73.4 ℉, 43.5 psid@140 ℉) 氣體:3.0 bar @ 23 ℃, 2.5 bar@60℃ (43.5 psid@73.4 ℉, 36.3 psid@140 ℉) |