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顯微分光膜厚儀

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱北京卓立漢光儀器有限公司
品牌
型號OPTM 系列
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2022/10/11 14:29:17
訪問次數(shù)181

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公司介紹主營產(chǎn)品

北京卓立漢光儀器有限公司成立于1999年，是國內(nèi)精密光學(xué)儀器和精密機(jī)械運(yùn)動(dòng)與控制技術(shù)產(chǎn)品的供應(yīng)商之一，致力于為廣大光電行業(yè)從業(yè)者提供針對性的產(chǎn)品及解決方案。目前公司的位移臺、光學(xué)調(diào)整架等產(chǎn)品已經(jīng)形成產(chǎn)品系列化,規(guī)格多元化,已廣泛應(yīng)用于國內(nèi)高等院校和激光加工設(shè)備廠商等生產(chǎn)型企業(yè)用戶單位中。自2000年通用型三光柵光譜儀量產(chǎn)后，公司持續(xù)推出多個(gè)系列的熒光、拉曼、太陽能電池檢測等光譜測量系統(tǒng)，同樣在上述用戶群體中收到歡迎。成立20年來，卓立漢光始終堅(jiān)持研發(fā)創(chuàng)新、快速反應(yīng)和優(yōu)質(zhì)服務(wù)的經(jīng)營理念，取得了穩(wěn)步發(fā)展。目前其在國內(nèi)擁有300多名員工，在上海、深圳、成都、西安設(shè)立分公司，在法國、波蘭、韓國等國家擁有合作關(guān)系良好的代理商，構(gòu)建了覆蓋主要市場的行銷網(wǎng)絡(luò)。

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產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

OPTM 系列顯微分光膜厚儀使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過反射率進(jìn)行測量，可進(jìn)行高精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析?？赏ㄟ^非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度，例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。測量時(shí)間上，能達(dá)到1秒/點(diǎn)的高速測量，并且搭載了即使是初次使用的用戶，也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件。

顯微分光膜厚儀產(chǎn)品信息

產(chǎn)品概述

OPTM 系列顯微分光膜厚儀
頭部集成了薄膜厚度測量所需功能

通過顯微光譜法測量高精度反射率（多層膜厚度，光學(xué)常數(shù)）

1點(diǎn)1秒高速測量

顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)（紫外至近紅外）

區(qū)域傳感器的安全機(jī)制

易于分析向?qū)?，初學(xué)者也能夠進(jìn)行光學(xué)常數(shù)分析

獨(dú)立測量頭對應(yīng)各種inline客制化需求

支持各種自定義

OPTM 系列顯微分光膜厚儀選型表

OPTM-A1	OPTM-A2	OPTM-A3
波長范圍	230 ~ 800 nm	360 ~ 1100 nm	900 ~ 1600 nm
膜厚范圍	1nm ~ 35μm	7nm ~ 49μm	16nm ~ 92μm
測定時(shí)間	1秒 / 1點(diǎn)
光斑大小	10μm (*小約5μm)
感光元件	CCD		InGaAs
光源規(guī)格	氘燈+鹵素?zé)?		鹵素?zé)?/td>
電源規(guī)格	AC100V±10V 750VA（自動(dòng)樣品臺規(guī)格）
尺寸	555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動(dòng)樣品臺規(guī)格之主體部分)
重量	約 55kg（自動(dòng)樣品臺規(guī)格之主體部分）

測量項(xiàng)目：

反射率測量

多層膜解析

光學(xué)常數(shù)分析（n：折射率，k：消光系數(shù)）

測量示例：SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚測量

半導(dǎo)體晶體管通過控制電流的導(dǎo)通狀態(tài)來發(fā)送信號，但是為了防止電流泄漏和另一個(gè)晶體管的電流流過任意路徑，有必要隔離晶體管，埋入絕緣膜。 SiO 2（二氧化硅）或SiN（氮化硅）可用于絕緣膜。 SiO 2用作絕緣膜，而SiN用作具有比SiO 2更高的介電常數(shù)的絕緣膜，或是作為通過CMP去除SiO 2的不必要的阻擋層。之后SiN也被去除。為了絕緣膜的性能和精確的工藝控制，有必要測量這些膜厚度。