橢偏儀是一種用于探測薄膜厚度、光學常數以及材料微結構的光學測量儀器。由于測量精度高，適用于超薄薄膜測量，
與樣品非接觸，對樣品沒有破壞且不需要真寬，使得橢偏儀成為一種吸引力的測量儀器。
橢偏儀是測量比率，所以它對光束強度的變化或樣品的缺陷引起散射光不敏感。橢偏儀在每個波長測量2個量(Ψ and Δ)，
可以確定2個定量比如薄膜厚度，以及光學常數或基底的折射系數和消光系數。橢偏儀對薄膜Δ參數相位差極其敏感，能夠準確的測量薄膜厚度低至0 Å。
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