主要特點(diǎn):
高分辨觀察
利用金顆粒保證0.144nm分辨率DF-STEM像(標(biāo)準(zhǔn)型)。
大束流分析
約為非校正的STEM探針電流的10倍,可以進(jìn)行高速、高靈敏度能譜分析,可以在更短的時(shí)間內(nèi)獲得元素的面分布圖,
使得檢測(cè)微量元素成為可能。簡(jiǎn)化的操作
提供了專用的GUI自動(dòng)調(diào)節(jié)球差校正器
整體的解決方案
樣品桿與日立FIB兼容,提供了納米尺度的整體解決方案,從制樣到數(shù)據(jù)獲得和最終分析
多種評(píng)價(jià)和分析功能可選
可同時(shí)獲得和顯示SE&BF、SE&DF、BF&DF、DF/EDX和DF/EELS像;可以配備ELV-2000型實(shí)時(shí)元素Mapping系統(tǒng)(DF-STEM像可以同時(shí)獲得);
可以同時(shí)觀察DF-STEM像和衍射像;可以配備超微柱頭樣品桿進(jìn)行三維分析(360度旋轉(zhuǎn))等。
應(yīng)用領(lǐng)域:
HD-2700作為一款場(chǎng)發(fā)射球差校正的掃描透射電鏡,不僅具有高分辨率的圖像觀察能力,同樣具有高空間分辨率的分析能力,
配合EELS和EDS可以實(shí)現(xiàn)原子級(jí)元素的分析。HD-2700具有多種成像模式,可以滿足大部分樣品的觀察需求,
其中日立*的SE成像模式可以獲得透射電鏡無法獲得的樣品表面的信息,同時(shí)又比普通掃描電鏡具有更高的分辨率,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品表面的高分辨觀察。