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5L等離子清洗機(jī)電容耦合

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/1/7 11:03:52
  • 訪問次數(shù)270
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司位于鄭州*開發(fā)區(qū)863軟件園內(nèi),是一家專業(yè)從事材料制備設(shè)備和材料制備原料代理的高科技公司。重點專注于CVD石墨烯制備設(shè)備、熒光粉燒結(jié)設(shè)備、氧化鋯生物陶瓷燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備、陶瓷材料的微波燒結(jié)、稀有金屬的區(qū)域提純等研究發(fā)展方向,立志做*材料制備技術(shù)及設(shè)備和原料的提供商。 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的“研發(fā)團(tuán)隊”憑借自身在熱處理技術(shù)方面的專業(yè)知識和豐富的實踐經(jīng)驗,先后研發(fā)出了多款*材料制備設(shè)備。主要產(chǎn)品有:微波燒結(jié)爐、真空管式爐、箱式電阻爐、高頻感應(yīng)爐、氧化鋯燒結(jié)爐、熒光粉燒結(jié)爐、晶體退火爐、電池材料燒結(jié)爐、旋轉(zhuǎn)管式爐、立式管式爐、CVD管式爐等;其他的產(chǎn)品還有:等離子清洗機(jī)、真空手套箱、真空干燥箱、環(huán)境模擬測試柜、行星球磨機(jī)、高純石英管、99剛玉管、真空法蘭等。 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司 近年來,在社會各界的關(guān)心支持下,公司不斷發(fā)展壯大,與國內(nèi)外多所高校和科研單位建立起了合作關(guān)系;公司還聘請了多位國內(nèi)外重點高校的教授,博導(dǎo)為公司常年的技術(shù)顧問,他們時刻與國內(nèi)外學(xué)術(shù)界保持交流,出國訪問,并親臨一線指導(dǎo)產(chǎn)品的生產(chǎn)和研發(fā),使我公司的產(chǎn)品不斷完善,并緊跟世界研究熱點,推出相關(guān)的新產(chǎn)品。產(chǎn)品遠(yuǎn)銷歐美、日韓等國家,并在國內(nèi)外市場獲得業(yè)界。 如果您正在被國貨的產(chǎn)品質(zhì)量所困擾,選擇我們將改變您對國貨的某些觀念;如果您正在為自己的實驗方案的實施而茫然,選擇我們將有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊為您量身定做!如果您正在為故障設(shè)備的售后無人理會而發(fā)愁,選擇我們一切的問題將由我們負(fù)責(zé)到底。
簡單介紹: 等離子清洗機(jī)(plasma cleaner),是一種全新的高科技技術(shù),利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清潔機(jī)......
5L等離子清洗機(jī)電容耦合 產(chǎn)品信息
詳情介紹:

等離子清洗機(jī)(plasma cleaner),是一種全新的高科技技術(shù),利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的

5L等離子清洗機(jī) 電容耦合特點:

腔體可利用面積大,起輝均勻,可清洗6英寸硅片。

5L等離子清洗機(jī)電容耦合技術(shù)參數(shù):

主要部件

指標(biāo)名稱

參數(shù)指標(biāo)

清洗倉體

清洗倉材質(zhì)

SS304

清洗倉尺寸

200x160x240mm

耦合方式

電容耦合

電源特性

該電源為全固態(tài)射頻電源,采用高穩(wěn)定高可靠的功放模塊和直流模塊,有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質(zhì)量的電子元器件,使產(chǎn)品的可靠性得以保證。

電源優(yōu)勢

●可長時間正常運行
● 操作簡單靈活

● 電源效率高、發(fā)熱少
● 具有完善的反射功率保護(hù)功能

射頻功率

0~300W連續(xù)可調(diào)

信號頻率

13.56MHz ±0.005%

反射功率

100W

功率穩(wěn)定度

±0.1%

射頻接頭

N型頭

整機(jī)效率

75%

諧波分量

-50 dBc

冷卻方式

強(qiáng)制風(fēng)冷

測量部件

兩路質(zhì)量流量計 Ar 0~200sccm; O2 0~200sccm 可定制

其他參數(shù)參考之前的產(chǎn)品

氣體通道

兩通道

A通道量程

10100ml

B通道量程

16160ml

真空測量

數(shù)字真空計(電阻規(guī))

真空抽取

雙極旋片泵

電機(jī)轉(zhuǎn)速

50Hz時為:1440;60Hz時為:1720。

抽氣速率

50Hz時為:240L/Min;60Hz時為:288L/Min

真空量程

0.1Pa10000Pa

極限真空

0.5Pa

電機(jī)噪音

56dB

管道接口

進(jìn)氣口:KF16;排氣口KF16.

連接管道

KF16真空波紋管

真空閥門

KF16球閥

電機(jī)功率

400W

供電電源

AC220V 50/60Hz

整機(jī)功率

800W

使用溫度

-10 -- 40

工作真空

40Pa

整機(jī)尺寸

600mmX650mmX560mm

整機(jī)重量

80kg(含包裝)

15168338725
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