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HMDS預(yù)處理高溫烘箱

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公司名稱北京中科博達(dá)儀器科技有限公司
品牌
型號(hào)BD/HMDS-60
所在地
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
更新時(shí)間2023/3/17 15:09:02
訪問次數(shù)199

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公司介紹主營產(chǎn)品

北京中科博達(dá)儀器科技有限公司是一家專注于環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備的研發(fā)、銷售和服務(wù)為一體的科技企業(yè)。公司位于交通便利、工業(yè)繁華的北京市大興經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)。自成立以來認(rèn)真精細(xì)地完善每一步檢驗(yàn)程序,嚴(yán)格要求產(chǎn)品的每一步工藝流程,追求完美品質(zhì)。依托企業(yè)自身的人才、技術(shù)、資金為科研、航天、電子、汽車、石油、化工、醫(yī)療、通訊、各大院校等企事業(yè)單位,提供符合GB、GJB、IEC、MIL、DIN等標(biāo)準(zhǔn)的各類試驗(yàn)設(shè)備及檢測儀器，并可根據(jù)用戶的需求設(shè)計(jì)制造各類非標(biāo)專業(yè)性設(shè)備。

公司一貫堅(jiān)持“以質(zhì)量求信譽(yù)，以信譽(yù)求發(fā)展”，用嚴(yán)格的管理手段及過硬的質(zhì)量為廣大客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品，關(guān)心客戶的切身利益，服務(wù)周到完善，為客戶的發(fā)展提供可靠的支持。公司秉承“創(chuàng)新理念，追求zhuo越”的經(jīng)營理念，一如既往地為廣大新老客戶提供專業(yè)可靠的產(chǎn)品與服務(wù)，樹立“中科博達(dá)”品牌形象。為方便廣大客戶能夠及時(shí)提供全方面的的售前咨詢、售后服務(wù)，公司在全國各大重點(diǎn)城市均設(shè)有辦事處，真誠為您服務(wù)！

產(chǎn)品系列: 高溫試驗(yàn)箱、低溫試驗(yàn)箱、恒溫恒濕試驗(yàn)箱、低溫恒溫試驗(yàn)箱、高低溫試驗(yàn)箱、交變高低溫試驗(yàn)箱、高低溫濕熱試驗(yàn)箱、交變高低溫濕熱試驗(yàn)箱、鹽霧腐蝕試驗(yàn)箱、二氧化硫試驗(yàn)箱、鼓風(fēng)干燥箱、高溫烘箱、真空干燥箱、溫度沖擊試驗(yàn)箱、紫外光老化試驗(yàn)箱、氙弧燈耐氣候試驗(yàn)箱、臭氧老化試驗(yàn)箱、換氣老化試驗(yàn)箱、沙塵試驗(yàn)箱、淋雨試驗(yàn)箱、擺管淋雨試驗(yàn)設(shè)備、滴水試驗(yàn)設(shè)備、振動(dòng)臺(tái)、振動(dòng)試驗(yàn)機(jī)、二氧化碳培養(yǎng)箱、霉菌培養(yǎng)箱、熱空氣消毒箱、低溫培養(yǎng)箱、藥品穩(wěn)定試驗(yàn)箱、防銹油脂試驗(yàn)箱、大型鹽霧試驗(yàn)室、大型低溫恒溫試驗(yàn)室、大型高低溫檢測試驗(yàn)室。

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產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

HMDS預(yù)處理高溫烘箱產(chǎn)品用途:該產(chǎn)品主要用于半導(dǎo)體行業(yè)，HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對(duì)烘箱HMDS預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性

HMDS預(yù)處理高溫烘箱產(chǎn)品信息

HMDS預(yù)處理高溫烘箱

產(chǎn)品用途:該產(chǎn)品主要用于半導(dǎo)體行業(yè)，HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對(duì)烘箱HMDS預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

一、產(chǎn)品規(guī)格：

型號(hào)：BD/HMDS-6090 內(nèi)形尺寸：450×450×450

型號(hào)：BD/HMDS-6210 內(nèi)形尺寸：560×640×600

二、技術(shù)參數(shù)：

1、控溫范圍：RT+10～250℃

2、溫度分辨率：0.1℃

3、溫度波動(dòng)度：±1℃

4、達(dá)到真空度：小于133Pa

5、真空度：100Pa～100000Pa

6、定時(shí)范圍：1～9999min

7、工作室材料：316L

8、樣品架：2塊、3塊

9、真空泵：4L/S

10、電源電壓：220V/50Hz、380V/50Hz三相五線制

11、總功率：3000W、4500W

三、產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、外殼采用冷軋鋼板制造，表面靜電噴塑。內(nèi)膽、樣品機(jī)、連接管路均采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼316L材料制成；加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周，內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。

2、箱門閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)高真空度。

3、HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì)，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏顧慮。

四、HMDS預(yù)處理系統(tǒng)操作流程：

1、首先確定烘箱工作溫度；

2、預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_真空泵抽真空，待腔內(nèi)真牢度達(dá)到某一高真空度后，開始充入氮?dú)?，充到達(dá)到某低真空度后，再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^程，到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后，開始保持一段時(shí)間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分;

3、再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng);

4、當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后，再次開始抽真空。充入氮?dú)猓瓿烧麄€(gè)作業(yè)過程。

五、控制系統(tǒng)：

1、7.0英寸維綸彩色觸摸屏，三菱PLC控制器；

2、富士微電腦雙數(shù)顯溫度PID控制器，控溫精確可靠；

六、保護(hù)系統(tǒng)：

1、漏電保護(hù)；

2、超溫保護(hù)；

3、缺液保護(hù)；

七、設(shè)備使用條件：

1、環(huán)境溫度：5℃～＋28℃（24小時(shí)內(nèi)平均溫度≤28℃）

2、環(huán)境濕度：≤85%R.H