技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號:SJ6000產(chǎn)品名稱:SJ6000激光干涉儀
穩(wěn)頻方式:雙頻激光熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度:0.05ppm
線性測量精度:0.5ppm(0-40)℃
線性測量距離:(0-80)m(無需遠距離線性附件)
角度測量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
測量分辨力:1nm
動態(tài)采集頻率:50KHz
預熱時間:≤6分鐘
工作溫度范圍:(0-40)℃
環(huán)境溫度范圍:(0-40)℃,環(huán)境濕度:0-95%
主要特點:應用范圍廣、測量精度高、操作方便
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
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結(jié)合不同的光學鏡組,sj6000激光干涉儀測量可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等。
自動化設備精度測量
傳感器線性精度測量
傳感器線性精度測量
導軌直線度檢測
sj6000激光干涉儀測量以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。