ohtama主動磁屏蔽 磁場消除器CA-4000的介紹
ohtama主動磁屏蔽 磁場消除器CA-4000的介紹
近年來，電子束設(shè)備的性能有了顯著提高，但另一方面，允許的磁場也越來越嚴格。主動式磁屏蔽（磁場消除器）通過3軸磁場控制器以高靈敏度檢測干擾的波動磁場，通過由XYZ 3軸組成的亥姆霍茲線圈產(chǎn)生抵消它的磁場，并抑制磁場線圈內(nèi)部的磁場波動。用于控制和穩(wěn)定線圈的磁場發(fā)生器 通過引入該產(chǎn)品，即使在磁環(huán)境非常不穩(wěn)定的地方，也可以充分展示電子束設(shè)備的性能。
也可以將抵消線圈安裝在設(shè)備的框架上。半導體測量和檢測設(shè)備無需占用大的安裝面積。
現(xiàn)場安裝迅速
?不損害電子束系統(tǒng)的操作性
·低成本
?絕美
?均碼可用
（消除線圈可以安裝在設(shè)備的框架上）
コイル設(shè)置方法は、建物埋め込み型、チャンバー內(nèi)設(shè)置型、後施工（現(xiàn)場設(shè)置）の3通りがあります。
| 獨立型 CA-4000 | 低ノイズ型 CA-3200 | |
|---|---|---|
| 用途 | SEM/3Dプリンタなど | シールドルーム內(nèi) |
| 対応周波數(shù) | 0Hz～1kHz | 0Hz～720Hz |
| 最大対応変動磁界 | 150mG（15μT） | 50mG（5μT） |
| 減衰率 | 最大60dB | 最大60dB |
| 制御範囲 | ± 150 μT | ±70μT |
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