1.1 設(shè)備名稱:在線式真空等離子清洗機
1.2 式號:VPC3i
1.3 原產(chǎn)地(國別、廠家):北京中科中科同志股份有限公司
1.4 交貨期:合同生效后4-8周
1.5 主要用于硅晶圓、玻璃基板、陶瓷基板、IC載板、銅引線框架、大尺寸單面基板電源板、IGBT模塊、帶治具的MEMS傳感器、微波器件、濾波器、射頻器件等半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域的等離子表面處理工藝。
二、設(shè)備主要技術(shù)性能指標:
2.1 真空腔體體積:3L
2.2 真空度:
VPC3i真空等離子清洗機真空度小于10 Pa(機械干泵 8L)
2.3 有效清洗面積:
單次清洗面積:350*100*85mm
等離子體頻率:13.56HZ 300W 射頻(體積處理,帶水冷)
2.4 真空腔室高度:
爐膛高度100mm(有效尺寸)
2.5 清洗溫度:
低溫清洗(低于室溫)。
2.6 清洗節(jié)拍:30-120S
2.7 清洗效果:達因值可達到70.水滴角15度,可控制到10以內(nèi)(百級無塵4小時以內(nèi))
2.8 氣體環(huán)境:
氬氣、氮氣、氧氣、氮氫混合氣體、氫氣、甲酸都支持。
2.9 VPC3i真空等離子清洗機配置軟件控制系統(tǒng):
軟件控制系統(tǒng),操作簡單,能接控制設(shè)備及設(shè)定各種清洗工藝曲線,并根據(jù)工藝不同進行設(shè)定、修改、存儲、調(diào)用;軟件自帶分析功能,能對工藝曲線進行分析。軟件控制系統(tǒng)自動的實時記錄清洗工藝及溫度曲線、時間、報警相關(guān)數(shù)據(jù),保證產(chǎn)品清洗工藝的可追溯性。
2.10 設(shè)備無需校正,不會產(chǎn)生多余的校證費用
2.11 操作功耗:2.2KW,不含冷水機功耗
2.12 具有超溫報警及記錄功能。(標配)
VPC3i真空等離子清洗機具有清洗過程工件表面超溫保護及報警功能、整機溫度安全保護功能及記錄功能。
2.13 具有氮氣、氬氣等流量管理及分析系統(tǒng)(軟件+硬件)。(選配)
VPC3i真空等離子清洗機具有整機消耗氮氣、氬氣等工藝氣體的實時管理及分析功能,可以實時分析氣體使用量、日使用量、周使用量、時間段使用量等記錄和分析功能。
2.14 具有工藝氣體壓力報警功能和分析系統(tǒng)(軟件+硬件)。(選配)
VPC3i式真空等離子清洗機具有整機生產(chǎn)過程中工藝氣體氣源欠壓報警及記錄和分析功能,對產(chǎn)品質(zhì)量追溯超有用。
2.15 具有能源管理及分析系統(tǒng)(軟件+硬件)。(選配)
VPC3i式真空等離子清洗機具有能源消耗實時管理及分析功能,可以分析實時耗電量、日耗電量、周耗電量、時間段耗電量等記錄和分析功能。
2.16 具有氧含量管理及分析系統(tǒng)(軟件+硬件)。(選配)
VPC3i式真空等離子清洗機具有整機真空室內(nèi)氧氣含量實時管理及分析功能,可以實時分析氧含量PPM值并記錄和分析,用于產(chǎn)品質(zhì)量追溯和分析。
2.17 具有MES數(shù)據(jù)接口子系統(tǒng)(軟件+硬件)。(選配)
VPC3i式真空等離子清洗機具有整機MES數(shù)據(jù)接口功能,可以選配并配置MES系統(tǒng),完成智能設(shè)備的各種數(shù)據(jù)采集及分析。
2.18 設(shè)備外形尺寸:
550*1260*1480mm(不包括警燈)
2.19 設(shè)備內(nèi)部結(jié)構(gòu):見右圖
三、設(shè)備基本構(gòu)成和配置:
編號 | 名稱 | 配置 | 數(shù)量 |
1 | 真空等離子清洗機 | 主機 | 1臺 |
2 | 等離子體電源系統(tǒng) | 標配 | 1套 |
3 | 測溫系統(tǒng) | 標配(4組測溫熱電偶) | 1套 |
4 | 真空系統(tǒng) | 標配 | 1套 |
5 | 機械泵 | 標配 | 1套 |
6 | 水冷系統(tǒng) | 標配(不含工業(yè)水冷機) | 1套 |
7 | 工業(yè)冷水機 | 選配 | 1套 |
8 | 甲酸工藝系統(tǒng) | 標配(甲酸罐體、氣路管道及接口) | 1套 |
9 | 氮氣氣氛保護系統(tǒng) | 標配(不包括氮氣氣源供應(yīng)) | 1套 |
10 | 真空等離子清洗機軟件系統(tǒng) | 標配(控制軟件) | 1套 |
11 | 工業(yè)計算機 | 標配 | 1套 |
12 | 等離子體 | 標配 | 1支 |
13 | 測溫傳感器(備件) | 標配 | 2根 |
14 | 冷卻氣管(備件) | 標配 | 2根 |
15 | 工藝氣體流量管理及分析系統(tǒng) | 選配 | 1套 |
16 | 工藝氣體壓力報警功能和分析系統(tǒng) | 選配 | 1套 |
17 | 能源管理及分析系統(tǒng) | 選配 | 1套 |
18 | 氧含量管理及分析系統(tǒng) | 選配 | 1套 |
19 | MES數(shù)據(jù)接口系統(tǒng) | 選配 |
四、VPC3i技術(shù)參數(shù)表
品 牌 | 設(shè)備廠商 | 北京中科中科同志股份有限公司 TORCH | 備注 |
簡 介 | 產(chǎn) 地 | 北 京 | |
關(guān)鍵配件 | 溫度傳感器 | 美國歐米伽 | |
真空泵 | 科儀/鮑絲 | ||
截止閥 | 日本進口 | ||
耐蝕閥 | 日本進口 | ||
低壓電器 | 法國施耐德 | ||
按鈕開關(guān) | 中國臺灣久晨/法國施耐德 | ||
光電傳感器 | 日本歐姆龍 | ||
等離子體電源 | TORCH | ||
關(guān)鍵技術(shù)指標 | 溫度參數(shù) | 低溫清洗,保持在室溫清洗 | |
真空度 | 10pa | ||
氧含量 | <1ppm | ||
生產(chǎn)效率 | 20-120S | ||
工藝關(guān)鍵指標 | 質(zhì)量追溯 | 1、工藝氣體壓力報警記錄。2、氧含量報警記錄。3、溫度超溫報警記錄。4、真空值不達標報警記錄 | |
設(shè)備智能化信息化 | 1、設(shè)備具備智能化功能,以上四項指標有一項不達標或者報警,設(shè)備就整體報警,并提示停止生產(chǎn)。確保產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量。2、設(shè)備具備能源管理系統(tǒng),耗電量和消耗氮氣的量,在能源管理系統(tǒng)實時統(tǒng)計并顯示。3、以上所有信息都可以通過設(shè)備數(shù)據(jù)接口無縫對接MES系統(tǒng),方便管理人員決策管理。 | ||
廠務(wù)條件 | 電 | 380VAC,20A | |
氣 | 壓縮空氣(CDA)0.5Mpa | ||
氮氣 | 0.5Mpa | ||
真空 | 設(shè)備配置真空干泵 |