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熱式氣體質(zhì)量流量計(jì) 智能質(zhì)量流量計(jì) 小體積流量控制器

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  • 公司名稱西安奧信自動(dòng)化儀表有限責(zé)任公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/5/18 10:45:41
  • 訪問(wèn)次數(shù)228
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西安奧信自動(dòng)化儀表有限責(zé)任公司專業(yè)生產(chǎn)及銷售各種管道式電磁流量計(jì),插入式電磁流量計(jì),外敷超聲波流量計(jì),便攜式超聲波流量計(jì),手持式超聲波流量計(jì),渦輪流量計(jì),渦街流量計(jì),流量積算儀,流量積算儀等。 公司自成立以來(lái)就積極推進(jìn)“以人為本”、“以質(zhì)量求生存”、“以技術(shù)求發(fā)展”的企業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略,內(nèi)抓管理,外拓市場(chǎng),通過(guò)ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證,合同信用AAA企業(yè)證書等。公司先后從國(guó)內(nèi)外引進(jìn)*的生產(chǎn)設(shè)備和流量標(biāo)定設(shè)備,企業(yè)依托可靠的質(zhì)量、精良的設(shè)備,*的工藝,產(chǎn)品運(yùn)用遍及各個(gè)行業(yè),如石油化工、造紙、城建、冶金、電力、食品醫(yī)藥、環(huán)保、水處理等,部分產(chǎn)品常年出口韓國(guó)、日本、中東等地區(qū)。 堅(jiān)持科技是以生產(chǎn)力的理念,竭誠(chéng)歡迎國(guó)內(nèi)、國(guó)際有識(shí)之士與我們合作,攜手并進(jìn),共創(chuàng)輝煌。
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)智能質(zhì)量流量計(jì)小體積流量控制器用途與特點(diǎn)質(zhì)量流量控制器(MassFlowController縮寫為MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì) 智能質(zhì)量流量計(jì) 小體積流量控制器 產(chǎn)品信息

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì) 智能質(zhì)量流量計(jì) 小體積流量控制器

用途與特點(diǎn)
質(zhì)量流量控制器  (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、***和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括:電子工藝設(shè)備,如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
主要技術(shù)指標(biāo)
量程范圍  (20,30,50,100,200,300,500)SCCM    (0~1,2,3,5,10)SLM
準(zhǔn)確度   +1.5%F.S
線性  +0.5~1.5%F.S
重復(fù)精度 +0.2%F.S
響應(yīng)時(shí)間  10sec      氣特性:(1~4)sec
工作壓差 0.1~0.5MPa
耐壓 3Mpa  6Mpa  10Mpa
工作環(huán)境溫度 0~70℃
數(shù)字量 RS485  MODBUS 協(xié)議
模擬量 DC 0~5V ,4~20mA 可選
電特性:SLM
供電 DC +15V/24V 可選,流量計(jì)<50mA,控制器<200mA
電氣連接 DB15
漏率 1×10  SCCSHe
底座材質(zhì) 316L 不銹鋼
密封材質(zhì)   氟橡膠,丁晴橡膠,氯丁橡膠
氣路接頭  Φ3,Φ6,Φ10,1/8〞,1/4〞,3/8〞
注意:  質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮?dú)?N₂)標(biāo)定.
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:SCCM(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分);SLM(標(biāo)準(zhǔn)升/分)
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì) 智能質(zhì)量流量計(jì) 小體積流量控制器
微小氣體質(zhì)量流量計(jì) AX10FD氣體流量計(jì) 微小流量計(jì)

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