超低溫磁場探針臺
半自動真空低溫探針臺使晶圓和器件在低溫下9k(singleCCR系統(tǒng))、(dualCCR系統(tǒng))甚至低于4K(triple CCR系統(tǒng))的情況下能夠快速、經(jīng)濟地進行測試。低溫探針臺,設計用于支持在真空或氣體環(huán)境中對高達100mm、150mm或高達300mm的晶圓進行自動動或半自動測試。 系統(tǒng)精度高、成本低、噪音低、使用方便。系統(tǒng)建立在一個振動補償?shù)亩喙δ芷脚_上,能夠配置來各種測試應用程序。
· 可用于高達100mm、150mm和200mm的晶圓測試
· 可配置4或6個探針臂。
· 還可以選擇探卡進行測試
· 顯微鏡選擇包括7:1,:1和16:1數(shù)碼變焦顯微鏡
· BNC, Triax, DC pin and RF 可選
· 用于探針微米定位的高分辨率探針臂
· Isolated, grounded, coaxial or triaxial chuck可選
· RF選件包括可定制的RF探頭、RFchunk和屏蔽罩系統(tǒng)
· 具有良好的隔振性能