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離子束拋光刻蝕機 Trim 200 德國scia Systems 羅茨風(fēng)機

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱北京歐唐科技發(fā)展有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/8/29 9:37:13
  • 訪問次數(shù)264
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北京歐唐科技發(fā)展有限公司(歐唐科技),成立于2007年,致力于光學(xué)精密制造與檢測領(lǐng)域,歐唐科技有著幾十年的光學(xué)領(lǐng)域研發(fā)經(jīng)驗,與業(yè)內(nèi)經(jīng)驗豐富的專家保持良好的合作關(guān)系,可以為相關(guān)領(lǐng)域提供技術(shù)咨詢服務(wù)我們不僅代理儀器設(shè)備與軟件,同時也應(yīng)客戶的需求,研發(fā)定制的儀器與裝置。
簡介sciaTrim200用于晶圓或光學(xué)元件的高精度表面離子束修整或拋光,而不受薄膜和材料的限制
離子束拋光刻蝕機 Trim 200 德國scia Systems 羅茨風(fēng)機 產(chǎn)品信息

簡介



scia Trim 200用于晶圓或光學(xué)元件的高精度表面離子束修整或拋光,而不受薄膜和材料的限制。該系統(tǒng)專為批量生產(chǎn)而設(shè)計,具有滿足產(chǎn)能和維護的優(yōu)化布局,可以配有能容納標(biāo)準(zhǔn)晶圓尺寸的半導(dǎo)體載具機器手。此外,組合布局可選2個工作倉和2個載具loadlock以提高產(chǎn)能。


常規(guī)屬性



- 采用聚焦離子束轟擊樣品表面,通過控制離子束焦斑在局部區(qū)域的駐留時間,來實現(xiàn)表面材料的定量去除,從而實現(xiàn)拋光或表面修整。

- 顯著提升產(chǎn)能

- 薄膜的厚度均勻性可以修正到原子水平,至

- 消除了邊緣效應(yīng)

- 具有ZBE功能,可進行亞納米級去除

- 對樣品材料沒有限制

- 產(chǎn)能與維護在設(shè)計時就進行了優(yōu)化,以降低生產(chǎn)成本

- 可以加工帶有光刻膠的晶圓,具有良好的樣品冷卻配置

* ZBE:zero base etching


系統(tǒng)性能


15700106413
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