該鍍膜機(jī)主要用于科研實(shí)驗(yàn),可制備納米級(jí)和微米級(jí)的單層及多層功能膜-各種硬質(zhì)膜、光學(xué)膜、金屬膜、鐵磁薄膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜和氧化物薄膜等多種薄膜。
該鍍膜機(jī)為前開(kāi)門(mén)式設(shè)計(jì),功能強(qiáng)、鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定、重復(fù)性好、操作簡(jiǎn)便。真空室材料均采用優(yōu)良材質(zhì)SUS304 不銹鋼材料制造,工藝規(guī)范、精致,保證了材料的成膜純度。
采用分子泵+直聯(lián)機(jī)械泵機(jī)組,具有抽速快、無(wú)油、操作方便快捷、易于維護(hù)的特點(diǎn)。
◆ 鍍膜方式:可實(shí)現(xiàn)多靶共濺模式;
◆ 磁控靶:圓柱/平面靶;
◆ 進(jìn)氣系統(tǒng):三路質(zhì)量流量計(jì);
◆ 鍍膜室體積:500mmX500mmX600mm;
◆ 極限真空度:5X10-5 Pa,恢復(fù)真空:從大氣抽至6.7X10-4 Pa (40分鐘);
◆ 真空抽氣系統(tǒng):機(jī)械泵與分子泵組成;
◆ 真空測(cè)量系統(tǒng):數(shù)顯復(fù)合真空計(jì);
◆ 工作電源:直流電源500W;射頻電源500W(13.56MHz);加熱控溫電源;
◆ 工件烘烤溫度:室溫~800℃可控可調(diào)(PID控溫);
◆ 選配件:石英晶振測(cè)厚儀、冷卻水機(jī)組等;
◆ 供電電源:三相AC380V,50Hz。
◆特殊規(guī)格可定制。