C系列質(zhì)量流量控制器
C系列質(zhì)量流量控制器(MFC)是緊湊且快速響應(yīng)型,用于非腐蝕性氣體,流量從50SCCM至50SLM,范圍從滿量程0.1%至99%。控制方式有0至5VDC模擬和RS485,所需電源電壓為24VDC。
C系列質(zhì)量流量計尺寸為:長5.02英寸(127.5mm),寬1英寸(25.4mm),高4.33英寸(109.98mm),氣路轉(zhuǎn)接,下載版本及可用。
MEMS低熱式質(zhì)量傳感器提供快速檢測流量變化和低噪聲輸出,傳感器的固態(tài)設(shè)計使其能抵抗水凝結(jié)粒子,壓力沖擊和振動。
快速響應(yīng),寬動態(tài)控制范圍,1%精度,在無腐蝕性工藝應(yīng)用中的佳選擇。用于質(zhì)譜、真空鍍膜、生物反應(yīng)及多種應(yīng)用。
C系列融合了快速反應(yīng)的電磁控制閥與流量傳感器,通過MFC優(yōu)化流量耦合信號處理與控制算法,使得響應(yīng)時間小于100毫秒。