一、簡(jiǎn)介

珀金埃爾默公司是ICP-MS技術(shù)的，也是ICP-MS技術(shù)革新的。1983年珀金埃爾默公司研制開(kāi)發(fā)出世界上用于商業(yè)的ELAN® 250型ICP-MS。

NexION 5000是業(yè)界多重四極桿ICP-MS，由四組四極桿組成。其創(chuàng)新設(shè)計(jì)達(dá)到和超過(guò)如半導(dǎo)體、生物監(jiān)測(cè)和其他應(yīng)用領(lǐng)域的痕量和超痕量元素檢測(cè)要求。NexION 5000性能超越了傳統(tǒng)的三重四極桿技術(shù)，提供低的背景等效濃度（在高溫?zé)岬入x子字體中，BECs<1 ppt）和出色的檢測(cè)限，確保了結(jié)果的精度和可重現(xiàn)性。NexION 5000 ICP-MS具有：

的干擾消除能力

出色的背景等效濃度(BECs)

的基體耐受性

符合SEMI S2/S8法規(guī)和安規(guī)要求

二、技術(shù)特點(diǎn)

l  四組四極桿：

組

四極桿離子偏轉(zhuǎn)器（Q0，Quadrupole Ion Deflector）是一個(gè)基于離子能量的靜電質(zhì)量分析器，對(duì)離子進(jìn)行動(dòng)態(tài)聚焦和質(zhì)量篩選，同時(shí)把離子偏轉(zhuǎn)90度以實(shí)現(xiàn)與中性成分和光子分離，導(dǎo)入下一級(jí)四極桿

第二組

為個(gè)四極桿質(zhì)量分析器（Q1，Transmission Analyzer Quadrupole），用作質(zhì)量分析器或?qū)㈦x子引導(dǎo)至四極桿通用池。它包含長(zhǎng)預(yù)四極桿，可獲得更好的高能離子聚焦，從而具有單位質(zhì)量或更好的質(zhì)量分辨，分辨率 < 0.3 amu

第三組

為四極桿通用池（Q2，Universal Cell Technology），是市場(chǎng)上由四極桿構(gòu)成的池技術(shù)，具有動(dòng)態(tài)帶寬質(zhì)量調(diào)諧能力（從而可以對(duì)反應(yīng)進(jìn)行有效的控制），標(biāo)配軸向場(chǎng)技術(shù)（從而可以使用任何所需的氣體），既可以作為離子聚焦加速的離子通道，又可以作為特定離子的質(zhì)量選擇器，抑制池內(nèi)副反應(yīng)的產(chǎn)生，確保所需反應(yīng)的，從而消除干擾。

第四組

為第二個(gè)四極桿質(zhì)量分析器（Q3，Transmission Analyzer Quadrupole），用作質(zhì)量分析器或?qū)㈦x子引導(dǎo)至檢測(cè)器。具有單位質(zhì)量或更好的質(zhì)量分辨，分辨率 < 0.3 amu

電子稀釋技術(shù)（EDR）擴(kuò)展動(dòng)態(tài)線性范圍至1012，允許在一次運(yùn)行中，同時(shí)分析高低濃度元素，減少重復(fù)運(yùn)行

l  低維護(hù)實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行：

第二代帶OmniRig™的三錐接口（TCI）技術(shù)與四極桿離子偏轉(zhuǎn)器（QID）相結(jié)合，從而實(shí)現(xiàn)錐后無(wú)需維護(hù)，保證儀器長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行和出色的穩(wěn)定性

34 MHz自激式RF發(fā)生器提供免故障的客戶體驗(yàn)——的LumiCoil™ RF工作線圈產(chǎn)生等離子體，它只需空氣冷卻（無(wú)需水冷或氣冷），從而無(wú)需維護(hù)且無(wú)需更換

l  通過(guò)外部狀態(tài)指示燈，可輕易得知分析狀態(tài)，提高了效率

l  Syngistix™軟件（v. 3.0或更高版本）將多重四極桿的性能與充滿現(xiàn)代感的用戶界面整合，實(shí)現(xiàn)用戶友好的工作流程操作

l  可升級(jí)SEMI S2/S8認(rèn)證（應(yīng)急按鈕），從而符合半導(dǎo)體超凈間設(shè)施集成要求

三、應(yīng)用

適用于環(huán)境、地質(zhì)、化學(xué)、食品、藥品、光刻膠、材料等，金屬元素、有機(jī)各類形態(tài)的分析，低的背景等效濃度（在高溫?zé)岬入x子字體中，BECs<1 ppt）和出色的檢測(cè)極限。