- 產(chǎn)品名稱：JSM-6510LA 掃描電子顯微鏡
- 日本電子
- JSM-6510
- 掃描電子顯微鏡
- 測試檢查儀器
- 帶EDS能譜儀
- 0
日本電子JOEL JSM-6510掃描電子顯微鏡 是一款高性能低價格的掃描電子顯微鏡（簡稱電鏡），分辨率可達3.0nm.可按用戶要求定做的操作接口便于用戶直觀操作儀器。SmileShot軟件保證得到電子光學參數(shù)。 JSM-6510的LGS型大樣品臺和GS型普通樣品臺可分別裝6英寸直徑和32mm直徑的樣品。 與日本電子公司的元素分析儀（EDS），統(tǒng)合于一體。結(jié)構(gòu)緊湊的EDS由顯微鏡主體系統(tǒng)的電腦控制，操作員只用一只鼠標，就可完成從圖像觀測到元素分析的整個過程。 適合于多種測量功能?？稍谟^察圖像上直接進行測量。也可將測量結(jié)果貼至SEM圖像，保存在文件中。 |
JSM-6510掃描電子顯微鏡 主要特點 |
強大的電子光學系統(tǒng)，簡單操作。 |
設計的超級圓錐型物鏡，保證3nm的分辨率。很容易得到高質(zhì)量照片。 |
廣域掃描線圈可以得到zui低5倍的放大倍數(shù)從而提高觀察樣品的效率。 |
優(yōu)秀的電子光學系統(tǒng)可以在大束流下形成小束斑，有利于微區(qū)分析。 |
JSM6510系列超級圓錐形物鏡，在工作距離8mm時的分辨率為3nm，超級圓錐形物。 |
外形設計可以做到短工作距離情況下，樣品仍然可以大角度傾斜。 |
JEOL開發(fā)的全自動電子槍能夠產(chǎn)生極小電子束源，只要選擇好加速電壓，就可以進行觀察或成分分析。 |
電子槍偏壓是調(diào)節(jié)電子槍亮度的重要部件。JEOL的無縫自給加壓系統(tǒng)能隨著電壓變化隨時調(diào)整偏壓，使得無論選擇哪個加速電壓，都能得到亮度。 |
JEOL的像散記憶功能能夠自動糾正隨加速電壓或工作距離改變而產(chǎn)生的像散。 |
JSM-6510LA 電子顯微鏡強大的功能 |
多圖顯示模式 | 主顯示區(qū)可以同時顯示兩幅實時圖像，分別為二次電子像和背散射電子像，參考區(qū)也可顯示2幅實時圖像，例如二次電子圖像，背散射電子圖像或CCD相機圖像。 |
雙實時顯示模式可以用于不同信號圖像的對比，用戶可在觀察表面形貌的同時了解樣品的成份分布情況。 | |
選用多種圖像顯示模式時，點擊“PHOTO”按紐可同時獲得并存儲2或3幅全屏尺度圖像。 | |
簡單易懂的操作接口及菜單 | 操作接口簡單，直觀，默認的操作接口顯示了的功能按鈕，并以簡單圖文標明，點擊鼠標即可操作所有功能。 |
實時量測，圖片上的長度和角度等結(jié)構(gòu)細節(jié)能在顯示器上進行測量。 | |
可變焦聚光鏡修正 | 做表面觀察和元素分析等不同應用時，選擇合適束流非常重要，一般是通過聚光鏡與物鏡光闌來控制電子束流的。 |
如果在調(diào)整束流過程中，焦點和觀察區(qū)域位移變化很小，調(diào)整起來會比較方便。JEOL的可變焦聚光鏡可以保證這一點。 | |
全對中樣品臺 | 當樣品臺傾斜時，全對中樣品臺可使圖像位移和焦點變化最小。 |
使用此樣品臺可多方向觀察粗糙表面樣品，采用一些不同角度攝取的圖片組成立體圖片，可通過立體圖片觀察深度。 | |
低真空SEM | 低真空掃描電鏡，除了包括高真空模式外，還包括低真空模式，在低真空模式下，不導電樣品以及容易放氣的樣品都可以直接觀察。 |
結(jié)合JEOL的冷凍干燥技術，可在低真空模式下快速觀察含水樣品。 |
| 保證分辨率 | 3.0nm（30kV） 8.0nm（3kV） 15nm（1kV） |
| 放大倍數(shù) | 5至300,000x |
| 加速電壓 | 0.5kV至30kV |
| 電子槍 | 工廠預對中燈絲 |
| 聚光鏡 | 變焦聚光鏡 |
| 物鏡 | 錐形物鏡 |
| 樣品臺 | 全對中樣品臺 |
| X-Y | 80mm-40mm |
| Z | 5mm至48mm |
| 旋轉(zhuǎn) | 360° |
| 傾斜 | －10°至＋90° |
| 排氣系統(tǒng) （高真空模式） | DPx1，RPx1 |
| 排氣系統(tǒng) （低真空模式） | DPx1，RPx2 |
