產(chǎn)品介紹
概要
Auto 色是一種新型的按鍵式全自動(dòng)薄膜測(cè)量分析工具，簡(jiǎn)單的幾個(gè)按鍵操作，即可完成全自動(dòng)測(cè)量和分析。
幾秒鐘可完成樣品分析，并提供完整的樣品堆疊特性報(bào)告-包括薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)、表面粗糙度和薄膜的不均勻性。
Auto 色 是一種高性能系統(tǒng)，它包括XYZ自動(dòng)樣品臺(tái)、測(cè)量點(diǎn)實(shí)時(shí)成像和光斑尺寸自動(dòng)選擇功能，其各種各樣的附件可滿足用戶對(duì)多種應(yīng)用的需求。
Auto 色借助完整的操作向?qū)?，自?dòng)檢測(cè)并診斷問(wèn)題、同時(shí)提供完整的操作指南，實(shí)現(xiàn)對(duì)故障進(jìn)行輕松處理。
便捷的操作性能和大量自動(dòng)化特性，使得 Auto 色 成為一種可用于常規(guī)薄膜測(cè)量和質(zhì)量控制的設(shè)備。
特征
- 薄膜分析變得輕松簡(jiǎn)單
- 高性能系統(tǒng)
- *的光斑可視系統(tǒng)（技術(shù)）
- 多種附件選擇
- 智能診斷
Auto 色的可視化系統(tǒng)
Auto 色 集成了*的MyAutoView光斑可視系統(tǒng)（技術(shù)），該系統(tǒng)配備在標(biāo)準(zhǔn)橢圓偏振光譜儀中。
MyAutoView允許操作者全程觀測(cè)樣品光斑，以確保各種類型的樣品都能在正確的位置，以合適的光斑尺寸進(jìn)行測(cè)量。
Auto 色 所提供的圖像有大約1毫米的視場(chǎng)和10微米的分辨率,這對(duì)于大多數(shù)測(cè)量來(lái)說(shuō)是非常必要的。
樣品類型 | MyAutoView光斑可視系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn) | 舉例 |
圖形化樣品 | 對(duì)圖形區(qū)域上的測(cè)量光斑直接觀測(cè). |
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玷污樣品 | 直接觀測(cè)樣品上的測(cè)量光斑，以便選擇合適測(cè)量位置. |
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透明樣品 | -只有前反射時(shí)，直接選擇 |
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粗燥樣品或不均勻表面的樣品 （有條紋、瑕疵） | 直接觀測(cè)樣品的測(cè)量光斑，以便選擇合適測(cè)量點(diǎn). |
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微結(jié)構(gòu)樣品 | 直接觀測(cè)樣品上能夠表示0.8mm的細(xì)線特征的測(cè)量光斑. |
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圓柱狀或球形的樣品 | 直接觀測(cè)在這種區(qū)域上用于光斑定位的平面。右圖顯示，光斑大小沒(méi)有被優(yōu)化到適合橢圓偏振的測(cè)量. |
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放在液體池、控溫臺(tái)等附件里的樣品 | 對(duì)于放在液體池里的樣品，測(cè)量定位變得非常容易（圖示樣品）. |
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技術(shù)參數(shù)：
光譜范圍：440-858nm
光斑尺寸： 500 µm x 750 µm; 500 µm x 500 µm; 250 µm x 500 µm; 250 µm x 250 µm; 70 µm x 250 µm; 100 µm x 100 µm; 50 µm x 60 µm; 25 µm x 60 µm
測(cè)試時(shí)間：通常為5秒，可小于1秒
準(zhǔn)確度：NIST 1000 Å SiO2 /Si: d ± 4 Å - n（632.8 nm） ± 0.002， Fu色d silica: n ± 0.004
觀測(cè)樣品： CCD-視場(chǎng)范圍1.33*1mm，分辨率1µm
重復(fù)性：± 0.2 Å （測(cè)試條件 NIST 150 Å SiO2 /Si ）
樣品臺(tái)尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自動(dòng)調(diào)節(jié)；真空檢測(cè)；Z軸高度50mm
探測(cè)器：CCD-分辨率：2nm
測(cè)角儀：固定在70度，可預(yù)設(shè)為66度或者61.5度
