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熱式質(zhì)量流量計(jì)GF100系列EtherCAT

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公司名稱天津市遠(yuǎn)洋機(jī)電科技有限公司
品牌
型號(hào)
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2024/2/21 15:22:07
訪問次數(shù)131

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

天津市遠(yuǎn)洋機(jī)電科技有限公司是一家集研發(fā)、工程、銷售、技術(shù)服務(wù)于一體的現(xiàn)代化企業(yè)，是國(guó)內(nèi)自動(dòng)化領(lǐng)域競(jìng)爭(zhēng)力的設(shè)備供應(yīng)商。公司主要經(jīng)營(yíng)歐美和日韓等發(fā)達(dá)國(guó)家的機(jī)電一體化設(shè)備、測(cè)試測(cè)量?jī)x器、分析檢測(cè)儀器、環(huán)境與新能源工業(yè)設(shè)備及電動(dòng)工具等工控自動(dòng)化產(chǎn)品。代理銷售多種品牌，其中阿自倍爾azbil、費(fèi)希爾fisher、普羅名特prominent、普爾聲pulsar、霍克hawk、特菲克Trafag等國(guó)外進(jìn)口品牌在國(guó)外均有穩(wěn)定的貨源渠道，99%進(jìn)口原裝，序列號(hào)可查，價(jià)格優(yōu)勢(shì)明顯，擁有完善的技術(shù)支持和售后，還可提供自動(dòng)化工程技術(shù)服務(wù)及成套解決方案。經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期的不懈努力，遠(yuǎn)洋機(jī)電目前已與眾多生產(chǎn)廠商達(dá)成友好合作關(guān)系并取得多個(gè)品牌的中國(guó)區(qū)代理權(quán)，并逐步積累了在工控自動(dòng)化領(lǐng)域關(guān)于貨源渠道、價(jià)格、貨期、服務(wù)等各方面的巨大優(yōu)勢(shì)。通過(guò)多年的發(fā)展，在國(guó)內(nèi)我們也與多家設(shè)計(jì)院、科研院所及集成商有著良好的項(xiàng)目合作關(guān)系。天津市遠(yuǎn)洋機(jī)電科技有限公司擁有強(qiáng)大的關(guān)系網(wǎng) 以及完善的技術(shù)和人員配置，可以為客戶提供充沛的貨源以及優(yōu)質(zhì)、便捷、高效的服務(wù)。企業(yè)發(fā)展，人才先行，天津市遠(yuǎn)洋機(jī)電科技有限公司建立了一支業(yè)務(wù)精通，責(zé)任心強(qiáng)的骨干隊(duì)伍我們秉承“質(zhì)量為先，信譽(yù)為重，服務(wù)為優(yōu)”的宗旨以“、合理的價(jià)格，完善的技術(shù)，提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品” 的服務(wù)為指導(dǎo)方針。憑借過(guò)硬的產(chǎn)品質(zhì)量及專業(yè)的選型指導(dǎo)服務(wù)，贏得了廣大客戶的認(rèn)同，呈現(xiàn)出高速發(fā)展的勢(shì)頭。公司的發(fā)展離不開客戶的信賴與支持，我們時(shí)刻以做大、做強(qiáng)的中國(guó)商貿(mào)事業(yè)為己任，嚴(yán)格要求自己。期待成為客戶信賴的伙伴，在關(guān)鍵的時(shí)候?yàn)榭蛻籼峁﹥?yōu)質(zhì)全面的解決方案及完善的產(chǎn)品服務(wù)，與客戶誠(chéng)合作，和諧共贏。

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該產(chǎn)品將穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性超高的測(cè)量傳感器與快速、精準(zhǔn)的控制閥以及功能強(qiáng)大的電子元件相結(jié)合共同實(shí)現(xiàn)了精準(zhǔn)的化學(xué)品控制。

熱式質(zhì)量流量計(jì)GF100系列EtherCAT 產(chǎn)品信息

熱式質(zhì)量流量控制器GF100 系列EtherCAT

純度氣路。超高精確，無(wú)污染的控制。

現(xiàn)今許多高級(jí)電子元器件的加工工藝都需要能夠?qū)Π嘿F的超純氣體和液態(tài)前體進(jìn)行相當(dāng)準(zhǔn)確并且具有高度可重現(xiàn)性的測(cè)定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的革命性金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表來(lái)滿足上述需求。該產(chǎn)品將穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性超高的測(cè)量傳感器與快速、精準(zhǔn)的控制閥以及功能強(qiáng)大的電子元件相結(jié)合共同實(shí)現(xiàn)了精準(zhǔn)的化學(xué)品控制。高完整性（無(wú)泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過(guò)程化學(xué)品純度，該流路專為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過(guò)程媒介而設(shè)計(jì)。

關(guān)鍵應(yīng)用

硅材料半導(dǎo)體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴(kuò)散、植入和 RTP
化合物半導(dǎo)體器件加工工藝 – MOCVD
精密的表面涂層
分析系統(tǒng)
真空處理應(yīng)用

選擇自身工藝需求的質(zhì)量流量設(shè)備。

速、準(zhǔn)的MFC

加強(qiáng)了擁有EtherCAT®的速度

型號(hào) GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126

針對(duì)半導(dǎo)體工藝的性能

嵌入式診斷利用實(shí)時(shí)以太網(wǎng)數(shù)據(jù)采集能力
超穩(wěn)定流量傳感器（每年≤設(shè)定值0.15%的漂移）使低流量更精準(zhǔn)，同時(shí)減少維修的需求
改進(jìn)的閥門關(guān)閉（≤bin范圍的0.15%）減少閥門內(nèi)漏，從而改善片晶圓效應(yīng)
新增強(qiáng)的抗壓力瞬時(shí)波動(dòng)在持續(xù)流體傳輸中降低了串?dāng)_流敏感度

特點(diǎn)

每年<滿量程的±0.15%的長(zhǎng)期零點(diǎn)穩(wěn)定性
響應(yīng)穩(wěn)定時(shí)間: 300毫秒 - <1秒
流量可達(dá)到300 slpm
全金屬密封的流體通路：可選5µ 或 10µ inch Ra的表面粗糙度
抗腐蝕的哈氏合金升溫傳感器在溫度升高時(shí)改善了測(cè)量的重復(fù)性
MultiFloTM 氣體和量程的可編程性—一臺(tái)表，幾千種氣體和量程的組合，無(wú)需把MFC從管路上拆除，也不會(huì)影響精度
方便的用戶顯示和獨(dú)立的診斷/服務(wù)端口可幫助儀表安裝，監(jiān)測(cè)和故障排查
GF120 安全傳輸系統(tǒng)(SDS®)是布魯克斯的低壓降質(zhì)量流量控制計(jì)，用于離子注入和刻蝕工藝的負(fù)壓安全傳輸系統(tǒng)的氣體傳輸