SEM掃描電鏡電源 高穩(wěn)定性35kV高壓電源
用于掃描電子顯微鏡(SEM)的高可靠、高穩(wěn)定性電源,具有內(nèi)置靈活性,可適應(yīng)各種肖特基發(fā)射電子槍配置。HiTek Power EG353系列標配Advanced Energy的直接驅(qū)動數(shù)字控制(D3C),通過直觀的GUI實現(xiàn)廣泛的操作和診斷功能。D3C在使用更小體積的同時提高了MTBF和可靠性。
產(chǎn)品亮點
低紋波和高穩(wěn)定性電源,分辨率可達-1 nm
體積更小的模塊或19英寸機架安裝選項提供了安裝靈活性
AE的直接驅(qū)動數(shù)字控制(D3C)技術(shù)實現(xiàn)了可靠性和性能
更高的效率、更一致的操作、對組件更改的低差異、更高的可靠性和更容易的測試
低紋波(<1.6ppm,加速器)和高穩(wěn)定性(<10ppm,加速器)
可以增加額外的接地輸出,以獲得更大的靈活性
易于使用的數(shù)字控制和監(jiān)控減少了設(shè)置和配置時間(光纖隔離RS-232)
可根據(jù)要求提供客戶定義的衍生產(chǎn)品和連接選項
典型應(yīng)用
使用具有LaB6或CeB6陰極的肖特基發(fā)射電子槍的SEM和電子顯微鏡
分辨率通常在>1到<20 nm之間的系統(tǒng)
輸出電壓
加速器:-30 kV,200μA(-35 kV用于調(diào)節(jié))
提取器:+10 kV,400μA
抑制器:-1 kV,100μA
加熱器:+5 V,3 A
輸出功率
加速器:6 W
提取器:4 W
抑制器:0.1 W
加熱器:15 W
溫度系數(shù)
加速器:<25 ppm/oC
提取器:<25 ppm/oC
抑制器:<20 ppm/oC
加熱器:<100 ppm/oC