STK-5150高級(jí)半自動(dòng)晶圓撕膜機(jī)特點(diǎn)： |
適用于8” &12”晶圓 |
操作簡(jiǎn)便 |
STK-5150高級(jí)半自動(dòng)晶圓撕膜機(jī)性能： |
晶圓收益 | ≥99.9% |
撕膜質(zhì)量 | 無(wú)裂片 |
每小時(shí)產(chǎn)能 | ≥ 80片晶圓 |
更換產(chǎn)品時(shí)間 | ≤ 5分鐘 |
STK-5150高級(jí)半自動(dòng)晶圓撕膜機(jī)規(guī)格參數(shù)： |
晶圓尺寸 | 8” &12”晶圓 |
厚度 | 150 ~750微米 |
晶圓種類(lèi) | 硅、砷化鎵；平邊或V型缺口晶圓 |
撕膠膜種類(lèi) | 撕膜膠帶 寬度：100~150毫米 長(zhǎng)度：100米 |
撕膜角度 | <45度，并且在 5°~45°可調(diào)節(jié) |
撕膜溫度 | 室溫到100 ℃范圍可調(diào)，控溫精度+/-3℃ |
晶圓臺(tái)盤(pán) | 通用防靜電特氟隆涂層接觸式金屬臺(tái)盤(pán) 帶可控加熱功能，溫度可達(dá)100℃ 臺(tái)盤(pán)帶吸真空功能 |
裝卸方式 | 晶圓手動(dòng)放置與取出 |
防靜電控制 | 離子風(fēng)扇 |
晶圓定位 | 彈簧銷(xiāo)釘定位 |
控制單元 | 基于PLC 控制，并配有5.7”觸摸屏 |
驅(qū)動(dòng)單元 | 伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
安全保護(hù) | 配置緊急停機(jī)按鈕 |
電源電壓 | 單相交流電220V，10A |
壓縮空氣 | 5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘80升/分鐘 |
機(jī)器外殼 | 白色噴塑金屬外殼 |
機(jī)器指示 | 三色燈塔顯示機(jī)臺(tái)工作狀態(tài) |
體積 | 950毫米(寬)x1500毫米(深)x1800毫米(含燈塔高) |
凈重 | 300公斤 |
