LFHS2

運動范圍XY（µm）

75

分辨率XY（nm）

0,075

典型的噪聲基準(zhǔn) XY（nm）

0,0075

的重復(fù)性XY（nm）

0,15

線性化（典型的）

0,02%

諧振頻率X / Y（Hz）

3000/2000

剛度 (N/µm)

4/3

負(fù)載（kg）-水平使用

1

負(fù)載（kg）-垂直使用

0,5

傳感器

Silicon HR sensor

尺寸W x L x H (mm)

120,8 x 120,7 x 28,5

材料

Al

電纜長度（m）

2

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