天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢經(jīng)銷德國aixACCT激光干涉儀TF 3000
aixACCT激光干涉儀TF 3000
相關(guān)產(chǎn)品介紹：
雙光束激光干涉儀
aixACCT Systems已將*的雙光束技術(shù)擴(kuò)展到可商用的雙光束激光干涉儀系統(tǒng)，以進(jìn)行長達(dá)8英寸的晶圓表征。
用于測量d 33的雙光束激光干涉儀（aixDBLI）提供經(jīng)過驗(yàn)證的精度（x切割石英），max可達(dá)0.2 pm / V。該系統(tǒng)的主要特點(diǎn)是單次測量的采集時間僅為幾秒鐘?；谛碌臄?shù)據(jù)采集算法，測量速度提高了100倍。這使得 比較了以相同激發(fā)頻率記錄的薄膜的電氣和機(jī)械數(shù)據(jù)。由于差分測量原理，消除了樣品彎曲的影響，這是使用原子力顯微鏡（AFM）進(jìn)行此類測量的主要障礙。
測量:
-機(jī)電大信號應(yīng)變和極化測量。
-壓電小信號系數(shù)和介電常數(shù)與直流偏置電壓的關(guān)系。如果剛度值已知，則可以使用附加的aixPlorer軟件工具從這些值得出耦合系數(shù)。
-電氣和機(jī)電性能疲勞。
aixDBLI系統(tǒng)的*性能使其適用于6“晶片上的MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）設(shè)備的壓電和電氣可靠性測試。該系統(tǒng)的 分辨率和可重復(fù)性優(yōu)于2％，可大規(guī)模生產(chǎn)。整個裝置包括位于減振室內(nèi)的光學(xué)組件，TF Analyzer 2000和一些附加的模擬電路。
技術(shù)數(shù)據(jù):
-解析度:1 pm經(jīng)過x-cut Quartz測試
-位移/應(yīng)變測量:50 Hz-5 kHz
100 mV至10 V
至25 V（可選）
-壓電d 33系數(shù)：
偏壓 ：（1 mHz至1 Hz）
100 mV至10 V
至25 V（可選）
小信號：（1 kHz至10 kHz）
100 mV至10 V
-電致伸縮M 33：類似于d 33
-C（V）測量:
偏壓 ：（1 mHz至1 Hz）
100 mV至10 V
至25 V（可選）
小信號：（1 kHz至10 kHz）
100 mV至10 V
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