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FFU(Fan Filter Unit)是風(fēng)機和過濾器的組合,也可稱為“自帶風(fēng)機的過濾設(shè)備”。
FFU通常安裝在潔凈室的送風(fēng)末端,一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。
FFU上面部分為風(fēng)機模塊,下面部分為過濾器。根據(jù)潔凈度的要求,過濾器可為不同等級的高效(HEPA)或超高效(ULPA)過濾器,為潔凈室提供潔凈空氣。
風(fēng)機模塊除了要克服FFU下部高效過濾器的阻力,還要克服整個循環(huán)風(fēng)所有通道部件的阻力,從而維持設(shè)定的運行風(fēng)速。FFU系統(tǒng)具有設(shè)計施工簡便,風(fēng)速調(diào)節(jié)靈活,潔凈區(qū)易于變更等特點,因此已成為工業(yè)潔凈室的流行系統(tǒng)形式之一。
FFU具有特點:
*:靈活性。因為FFU是自帶動力的,它不受區(qū)域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里,可根據(jù)需要,分區(qū)控制。而且,隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化,廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整,F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松,而且不會帶來二次投資。
第二:可再利用性。從理論上講,一時不用的FFU設(shè)備,可以拆下來,密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三:負(fù)壓通風(fēng)。這是FFU的*特點。由于它本身能夠提供靜壓,使得送風(fēng)靜壓箱相對于潔凈廠房負(fù)壓。這樣,靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里,使得密封變得很簡單而且安全。
第四:縮短建設(shè)周期。使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝,因為風(fēng)管在潔凈工程中,占掉很大的建設(shè)周期,任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益,選用FFU成為了一種可能。
第五:減少運行成本。雖然在選用FFU時,初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高,但它在后期運行中,突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護(hù)等特點。用在循環(huán)減少40%的運行成本。
參考:www.ljcleaner.com www.gdlingjie.com
技術(shù)咨詢:梁-/ :
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