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化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)

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參考價 30
訂貨量 1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號 CP-6
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 所在地 北京市

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更新時間:2020-01-02 17:54:36瀏覽次數(shù):4686

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產(chǎn)品簡介

電源電壓 其他 回轉(zhuǎn)數(shù) 11
加工定制 空載轉(zhuǎn)速 11
CP-6化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)集成的共聚焦3D顯微鏡,可以用nm分辨率表征任何材料墊表面,內(nèi)聯(lián)摩擦,聲發(fā)射研究過程。

詳細(xì)介紹

*的Rtec CMP測試儀CP-6化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)允許以*的方式研究和表征CMP工藝。 除了拋光晶圓和基板外,測試儀還配有在線表面輪廓儀。 這種組合提供了有關(guān)表面,摩擦,磨損等變化的原因和方式的信息。 測試儀還可以測量幾個內(nèi)聯(lián)參數(shù),如摩擦力,表面粗糙度,磨損量等,以便詳細(xì)了解過程。

化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)特點(diǎn)

           ●集成的共聚焦3D顯微鏡,可以用nm分辨率表征任何材料墊表面

        ●內(nèi)聯(lián)摩擦,聲發(fā)射研究過程

        ●內(nèi)聯(lián)溫度傳感器

        ●可安裝多種晶圓尺寸

        ●可控制的下壓力和速度

 

概念 - 拋光,摩擦,表面粗糙度

           XY + 2x旋轉(zhuǎn)運(yùn)動+ 2X Z運(yùn)動 - 標(biāo)準(zhǔn)配置有X,Y平臺,可在拋光和成像位置之間移動壓板。此外,XY平臺有助于在拋光過程中振蕩晶圓。使用帶有XY驅(qū)動器的壓板允許*的多軸驅(qū)動組合允許創(chuàng)建任何自定義運(yùn)動,以模擬接近現(xiàn)實(shí)生活場景的測試條件。

           內(nèi)聯(lián)傳感器

        扭矩 - 高分辨率內(nèi)聯(lián)扭矩傳感器可實(shí)現(xiàn)端點(diǎn)定位,并實(shí)時表征表面;

        聲學(xué) - 聲音信號信號,允許定性終點(diǎn)或幫助檢測拋光過程中的碎片,缺陷。

        溫度 - 焊盤和靠近晶圓拋光表面的區(qū)域的在線溫度監(jiān)控有助于研究去除機(jī)制。

        可編程負(fù)載,速度 

        為了優(yōu)化過程,CP-5000允許使用基于配方的軟件控制和改變力,速度,流速。

        易于使用 - 摩擦測量儀配有快換載體,可輕松安裝晶圓和焊盤。該軟件帶有預(yù)定義的測試標(biāo)準(zhǔn)配方,或者可以輕松創(chuàng)建新的自定義配方。Rtec Chemical機(jī)械拋光機(jī)測試儀配有內(nèi)聯(lián)集成的3D輪廓儀,經(jīng)過優(yōu)化,可以表征具有nm分辨率的墊表面。 探測器配有共焦模式+干涉儀模式+暗場和明場模式。 這允許以nm分辨率研究表面變化與時間的關(guān)系。 為什么摩擦力的變化很容易量化。 該測試儀允許在大表面積上自動縫合,以進(jìn)行體積磨損,粗糙度計(jì)算。

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