車間設(shè)計內(nèi)容
1. 合理布置工藝流程和建筑平面；
2. 選擇滿足無塵車間特點的建筑構(gòu)造和材料；
3. 無塵車間設(shè)計應(yīng)依據(jù)當(dāng)時當(dāng)?shù)氐哪茉垂?yīng)背景，選定可靠和經(jīng)濟的冷、熱源；
4. 劃分和布置空調(diào)凈化和排風(fēng)系統(tǒng)；
5. 選擇合理的空氣凈化通風(fēng)設(shè)備；

詳細介紹

電子廠車間之防火要求：

1）電子工廠無塵車間中，有使用丙酮、異丙醇等易燃化學(xué)品的潔凈室，這些化學(xué)品均屬甲類，因此將電子工廠無塵車間設(shè)有這些化學(xué)品的儲存間、分配間列為甲類。

2）電子工廠潔凈廠房中，尤其在半導(dǎo)體類型無塵車間中常常使用H”S1H4. AsH3、PH3等町燃、有毒氣體，它們均屬可燃氣體、有毒氣體，因此將電子工廠無塵車間中設(shè)有可燃、有毒氣體的儲存、分配間列為甲類。

3）半導(dǎo)體器件、集成電路工廠的外延間，由于其生產(chǎn)過程中需使用H2. SiH4等可燃氣體，它們的著火下限均低丁10%，因此外延間理應(yīng)列為甲類，但是近年來，隨著科學(xué)技術(shù)進步，半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)所采用的外延設(shè)備的設(shè)計、制造技術(shù)的不斷提高；各種氣體供應(yīng)、控制系統(tǒng)、設(shè)備和附件設(shè)計、制造技術(shù)的不斷提高，氣體報警設(shè)施的安全可靠性的長足進步和提高。據(jù)調(diào)查表明：半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)所采用的外延設(shè)備已配置有氫氣泄漏和排放超濃度報警、連鎖控制裝置以及滅火裝置等；半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)用外延間的氫氣供應(yīng)管路設(shè)有緊急切斷閥，一旦發(fā)生事故、火情時，自動切斷氫氣供應(yīng)；外延問按建筑特點在可能積聚氫氣處設(shè)置氯氣報警裝置和事故排風(fēng)連鎖控制裝置等安全技術(shù)措施。所以制定時，考慮到在具備上述安全技術(shù)措施的條件下，宜將半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)等所使用外延問列為丙類。

關(guān)鍵詞：無塵車間緊急切斷閥

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