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邁可諾技術(shù)有限公司


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光刻膠SU-8 2000

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參   考   價(jià): ￥ 16

訂  貨  量: ≥1 臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)2035/2050/2075/2100

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海市

聯(lián)系方式：趙先生查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2021-05-21 11:01:12瀏覽次數(shù)：351次

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經(jīng)營(yíng)模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：59條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：趙先生 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
標(biāo)準(zhǔn)粘度種類 十二種    

為了獲得大的過程可靠性，在涂覆SU-8 2000抗蝕劑之前，基材應(yīng)清潔干燥。 為了獲得很好的結(jié)果，應(yīng)使用食人魚濕法蝕刻（使用H2SO4和H2O2）清潔基材，然后用去離子水沖洗。

詳細(xì)介紹

為了獲得大的過程可靠性，在涂覆SU-8 2000抗蝕劑之前，基材應(yīng)清潔干燥。 為了獲得很好的結(jié)果，應(yīng)使用食人魚濕法蝕刻（使用H2SO4和H2O2）清潔基材，然后用去離子水沖洗。

基材也可以使用反應(yīng)離子蝕刻進(jìn)行清潔

（RIE）或任何裝有氧氣的桶式灰燼。 通常不需要粘合促進(jìn)劑。 對(duì)于包括電鍍的應(yīng)用，建議使用MCC Primer 80/20（HMDS）對(duì)基材進(jìn)行預(yù)處理。

涂層

SU-8 2000抗蝕劑有十二種標(biāo)準(zhǔn)粘度。 本加工指南文件涉及四種產(chǎn)品：SU-8 2025，SU-8 2035，SU-8 2050和SU-82075。圖1。

提供選擇合適的SU-8 2000抗蝕劑和旋轉(zhuǎn)條件以實(shí)現(xiàn)所需膜厚所需的信息。

 

1.）為基板直徑的每英寸（25毫米）分配1ml的抗蝕劑。

2.）以100 rpm /秒的加速度在500 rpm下旋轉(zhuǎn)5-10秒。

3.）以300 rpm /秒的速度在2000 rpm下旋轉(zhuǎn)30秒。

產(chǎn)品相關(guān)關(guān)鍵字： 光刻膠 SU-8膠 光敏膠


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