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行業(yè)產(chǎn)品

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北京嘉潤通力科技有限公司


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等離子刻蝕機(jī)/Plasma Etching

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更新時(shí)間：2024-10-05 08:42:03瀏覽次數(shù)：55次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：17條

所在地區(qū)：北京

聯(lián)系人：jrpower （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

適用于所有的基材及復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進(jìn)行等離子體活化、刻蝕、清洗，鍍膜

詳細(xì)介紹

  • 適用于所有的基材及復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進(jìn)行等離子體活化、刻蝕、清洗，鍍膜。
  • 處理時(shí)的因熱負(fù)荷及機(jī)械負(fù)荷都很低，故也可處理敏感性材料。
  • 典型應(yīng)用：等離子體清除浮渣、光阻材料剝離、各向異性和各向同性失效分析應(yīng)用、等離子刻蝕反應(yīng)、鈍化層蝕刻、聚亞酰胺蝕刻等。
設(shè)備參數(shù)

  • 處理面：直徑10.5"不銹鋼裝載裝置，水冷陶瓷絕緣
  • 真空腔：內(nèi)徑15"陽極電鍍鋁，表面氧化處理
  • 處理均勻性±5%
  • 水冷機(jī)：W16"× D36"× H24"
  • 氣體箱：W30"× D24"× H12"
外部連接

  • 電源：220V AC 30mA 50/60Hz
  • 壓縮空氣或氮?dú)猓?0-100PSI 1/4"快速接頭QC
  • 處理氣體：15PSI 100sccm 1/4"外螺紋VCR接頭
  • 排氣：50CFM KF40快卸緊固法蘭
  • 水冷：30-60PSI 3/8"快速接頭QC
基本配置

  • 電源配給，RIE
  • 安全互鎖裝置
  • 通訊接口模塊
  • 設(shè)備水電氣連接系統(tǒng)
  • 控制器
RIE配置

  • 等離子射頻電源 RF600W（可選裝RF1000W）
  • 氣體流量控制：MFC質(zhì)量流量計(jì)×4（1路適用于氯氣）
  • 裝載配置：真空裝載腔真空系統(tǒng)、真空裝載腔加熱組件
  • 控制系統(tǒng)：電腦控制、標(biāo)準(zhǔn)19"液晶顯示屏
  • 真空泵：分子渦輪泵、機(jī)械泵（干泵）8cfm-C
  • 真空控制組件、射頻電極組件、真空存儲腔


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