北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司，原名北京科立方真空技術(shù)應(yīng)用有限公司，創(chuàng)立于2013年，位于中國(guó)·首都北京密云經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)，主體經(jīng)營(yíng)分為真空配件銷(xiāo)售、真空設(shè)備定制、淺藍(lán)納米科技三個(gè)部分，是北京從事真空產(chǎn)品設(shè)計(jì)、制造、銷(xiāo)售、維修、保養(yǎng)于一體的專(zhuān)業(yè)性的公司，公司擁有一支專(zhuān)業(yè)、優(yōu)秀的產(chǎn)品技術(shù)工程師和維修技術(shù)工程師，具有豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，同時(shí)還與北京工業(yè)大學(xué)聯(lián)合研發(fā)等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)，與北京交通
鍵合機(jī)方案介紹
一、真空室
爐體采用304優(yōu)質(zhì)不銹鋼氬弧焊接而成，整體結(jié)構(gòu)為立式圓柱形，上下優(yōu)質(zhì)304不銹鋼法蘭封頭，雙層水冷；爐體上安裝ISO100真空抽氣口、KF16充氣口、KF16電阻規(guī)真空測(cè)量接口、KF16排氣口、CF35電極法蘭接口、Φ6-K型熱電偶接口等；上蓋安裝固定法蘭與水冷上壓頭壓氟膠圈密封，上蓋安裝提手和導(dǎo)向孔，與爐體上法蘭安裝的導(dǎo)向柱配合實(shí)現(xiàn)方便操作定位的作用，水冷下壓頭通過(guò)焊接波紋管法蘭與下蓋壓氟膠圈密封。系統(tǒng)極限真空優(yōu)于6.67*10-3Pa
二、加熱器
加熱器采用AC220V供電，電阻絲采用進(jìn)口電阻材料，極限溫度壽命長(zhǎng)，zui高溫度可達(dá)1200℃，建議*應(yīng)用溫度≤1000℃；保溫材料采用真空吸塑一次成型的氧化鋁材料，保溫性能*，壽命長(zhǎng)，放氣量少不影響極限真空的獲得；隔熱柱采用氮化硼陶瓷，可加工性能強(qiáng)，可與壓頭緊密配合使用，減少由于機(jī)械間隙造成的熱輻射；石墨壓頭與水冷壓頭之間采用氧化鋯陶瓷進(jìn)行隔熱，為了減少陶瓷受熱不均勻炸裂增云母片隔熱層減少熱傳導(dǎo)造成的溫區(qū)溫度波動(dòng)變化。*使用溫度900℃,控溫精度0.1℃，200℃以上溫度誤差±1℃，溫場(chǎng)恒溫區(qū)均勻性±2.5℃。
三、壓力機(jī)
壓力機(jī)由精密液壓站提供動(dòng)力，液壓站由油箱、液位液溫計(jì)、空氣濾清器、2KW電機(jī)、齒輪泵、壓力表開(kāi)關(guān)、壓力表、溢流閥、回油濾油器、直通單向閥、蓄能器、換向閥、油缸等部件組成。該配置有效行程70mm；可進(jìn)行恒壓、穩(wěn)壓的功能操作 。
四、架臺(tái)
架臺(tái)采用40*40的碳鋼方管焊接而成，臺(tái)面采用5mm厚碳鋼板，適當(dāng)增加承重橫梁，承載爐體及4根支柱的重量；正對(duì)面配合儀表安裝蒙板，其他面不作安排，外表面做噴塑處理，美觀大氣、整潔方便
五、結(jié)構(gòu)件
壓頭采用不銹鋼棒料內(nèi)部打孔焊接水道而成，保證溫度不過(guò)高的同時(shí)，保證強(qiáng)度達(dá)到使用要求，外觀美觀；波紋管采用焊接波紋管，壓縮量可達(dá)70%，降低設(shè)備整體高度，使用壽命可達(dá)10萬(wàn)次， 降低使用維護(hù)費(fèi)用；承重立柱采用4根直徑40mm的光軸，上下端挑扣成M30的外螺紋；承重板采用400*500*50mm的不銹鋼厚板配做打孔，保證強(qiáng)度同時(shí)注重美觀度
六、密封連接件
螺釘采用304不銹鋼螺釘；密封圈采用氟膠圈；卡箍1套；卡鉗1套；銅墊圈1套。
七、溫控系統(tǒng)
溫控系統(tǒng)由日本島電SR23溫控表通過(guò)4-20mA進(jìn)行PID控制，實(shí)時(shí)調(diào)整輸入加熱器電壓電流，達(dá)到控溫目的；儀表箱配置電壓表、電流表，可直觀的記錄相關(guān)參數(shù)值；控溫精度可達(dá)到0.1℃
八、壓力控制系統(tǒng)
壓力控制系統(tǒng)由承重壓力傳感器、顯示器（開(kāi)關(guān)量型）、繼電器、液壓站相應(yīng)閥門(mén)構(gòu)成一個(gè)控制閉路，實(shí)現(xiàn)壓力設(shè)定、讀取的直觀性和相應(yīng)參數(shù)的方便記錄。
九、真空閥門(mén)管路
閥門(mén)由ISO100手動(dòng)高真空檔板閥、真空針閥2個(gè)、浮子流量計(jì)及相應(yīng)的管路接頭等、KF16-Φ6接頭2個(gè)、KF16放氣閥1個(gè)、KF25氣動(dòng)擋板閥2個(gè)、KF25*1000mm波紋管2根.
十、真空獲得設(shè)備
真空獲得設(shè)備采用雙級(jí)真空，高真空采用成都南光擴(kuò)散泵，極限真空度5*10-6Pa，前級(jí)真空泵采用中韓合資機(jī)械泵，抽速選擇6L/s，此配置，維護(hù)簡(jiǎn)單，成本較低。
十一、真空測(cè)量設(shè)備
真空測(cè)量裝置采用成都睿寶復(fù)合真空計(jì)，兩個(gè)低真空測(cè)量電阻規(guī)，一個(gè)高真空測(cè)量電離規(guī)，全量程大氣壓到1*10-5Pa，性能穩(wěn)定，維護(hù)簡(jiǎn)單，后期成本較低。
十二、電路總控
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