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更新時(shí)間：2022-10-13 13:42:13瀏覽次數(shù)：181次
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美國 Lake Shore CPX 低溫真空探針臺(tái)可以對(duì)器件進(jìn)行非破壞性的測(cè)試，器件的尺寸可達(dá)到51mm(2inch)。它可以對(duì)材料或器件的電學(xué)特性測(cè)量、光電特性測(cè)量、參數(shù)測(cè)量、high Z測(cè)量、DC測(cè)量、RF測(cè)量和微波特性測(cè)量提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)。一般來講，納米電子材料、量子線、量子點(diǎn)和半導(dǎo)體材料是在CPX在進(jìn)行測(cè)量的比較典型的材料。系統(tǒng)的探針、測(cè)試電纜、樣品架都有多種類型可供選擇，從而滿足不同......
CPX 低溫真空探針臺(tái)產(chǎn)品介紹 |
美國 Lake Shore CPX 低溫真空探針臺(tái)的溫度變化范圍4.2K到475K，加低溫選件后，溫度可降低到1.5K，加入高溫選件，可提供的溫度變化范圍：20K-675K。系統(tǒng)需要使用液氦或液氮實(shí)現(xiàn)變溫，防輻射屏大大降低了黑體輻射，提高了制冷效率。冷頭上安裝兩個(gè)加熱器，減小了樣品的溫度梯度，加上防輻射屏上的加熱器，整個(gè)系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)快速的變溫。
美國 Lake Shore CPX 低溫真空探針臺(tái)最多具有6個(gè)可以進(jìn)行微調(diào)整的探針臂，每個(gè)探針臂上的探針都可以進(jìn)行3維方向上的定位。專用的探針根據(jù)尺寸和材料不同，分為多種類型，探針減少了熱質(zhì)量，優(yōu)化了和器件的電接觸性。每個(gè)探針都直接和冷頭進(jìn)行導(dǎo)熱，這樣就減小了探針對(duì)樣品的熱傳遞。
為了提高系統(tǒng)的實(shí)用性，系統(tǒng)還可以提供1.5K的溫度擴(kuò)展選件、675K的高溫選件、高真空、Load Lock選件、振動(dòng)隔離裝置、LN2杜瓦、高放大倍數(shù)的顯微鏡、分子泵組、防輻射屏的溫度控制裝置、探針臂的光纖電纜等選件。
| CPX 低溫真空探針臺(tái)產(chǎn)品特點(diǎn) |
● 系統(tǒng)可使用液氮或液氦制冷，基本系統(tǒng)溫度范圍：4.2 K to 475 K
● 加入溫度選件，溫度范圍可到1.5 K to 400 K 和 20 K to 675 K
● 樣品臺(tái)可進(jìn)行面內(nèi)±5°旋轉(zhuǎn)
● 測(cè)量DC到67GHz
● 測(cè)試樣品尺寸51mm直徑
● 最多可使用6個(gè)探針臂
● 探針臂傳上安裝溫度感器進(jìn)行溫度監(jiān)測(cè)
● 可提供Load-lock選件
● 控溫穩(wěn)定性：±50mK
● 探針臂3軸方向可調(diào)節(jié)，并可進(jìn)行面內(nèi)±5°旋轉(zhuǎn)
● 采用高真空選件，系統(tǒng)真空度可達(dá)到10-7 torr
● 電纜、屏蔽和Guard保護(hù)進(jìn)一步減少了電噪聲和熱輻射損失
● 可提供不同的選件和附件來滿足特定的科研測(cè)試需要
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