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韋氏納米系統(tǒng)（深圳）有限公司


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刻蝕殘留物去除劑 清洗/消毒設(shè)備

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產(chǎn)品型號(hào)EFC265

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地深圳市

聯(lián)系方式：劉先生查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2023-07-25 09:28:22瀏覽次數(shù)：429次

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經(jīng)營(yíng)模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：31條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：劉先生 （總經(jīng)理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

杜邦™plasmasolv®ekc265™蝕刻后殘留物去除劑

詳細(xì)介紹

杜邦™plasmasolv®ekc265™蝕刻后殘留物去除劑           

 應(yīng)用：        

應(yīng)用EKC265™蝕刻后殘留物器廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)，以滿足關(guān)鍵的清潔需求            

從高深寬比MEMS器件100μm+ 到*DRAM 的70nm集成的各個(gè)階段

下面列出了常見的應(yīng)用程序： 

  • 接觸清潔            

  • 金屬線清潔

  • TSV深硅穿孔清潔           

  • 鎢埋位線清洗            

  • 聚酰亞胺清洗            

  • Pad清潔            

  • MEMS清洗

 

特征：

  • 所有蝕刻后鋁清洗的單一解決方案

  • 清洗接觸，金屬，穿孔和Pad

  • 高度選擇性的殘留物去除

  • 去除重有機(jī)殘留物

  • 寬工藝窗口

  • 高產(chǎn)率 

  • 穿孔接觸電阻降低

  • 鋁清洗行業(yè)基準(zhǔn)


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