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美國艾里卡特科技有限公司

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MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地

更新時間:2022-03-19 10:58:11瀏覽次數(shù):403次

聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線
多功能。監(jiān)控流速的同時控制壓力;可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER氣體編輯器確定自己的氣體組成。連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通訊選項,可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。耐用。MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。

性能

  • 可用量程:0-20 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常備量程,請參見零件編號標簽)
  • 可調(diào)比:200:1(MCE/MCV)或者100:1 (MCES/MCVS)
  • 標準精度(NIST可溯源):±(0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程)
  • 高精度(選配,NIST可溯源):±(0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程)
  • 可重復性:0.2%滿量程
  • 標準控制器響應(yīng)時間常數(shù):50-100ms(若有PID調(diào)節(jié)功能,可縮短至25ms)
  • 氣動閥漏氣率(僅MCV系列):1 x 10-9 atm scc/sec(值,氦氣)
  • 無需預(yù)熱時間

工作條件

  • 兼容氣體:98種(MCE/MCV系列)或130種(MCES/MCVS系列)預(yù)置可選氣體;利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
  • 工作溫度:-10°C至+60°C
  • 內(nèi)部壓力(靜態(tài)):145 psig(160 psia)
  • 耐受壓力:175 psig(190 psia)
  • STP/NTP:用戶可選(默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)

MCEMCV系列包裝清單:

  • MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器(電源需另行訂購)
  • NIST可溯源校準證書
  • 艾里卡特操作說明書

配件(需另行訂購)

  • 過程端口接頭和過濾器
  • 電源
  • 通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
  • BB3和BB9多點式集線盒
  • Flow Vision軟件

型號變體

  • 閥門內(nèi)置(確保與SEMI端口長度一致)型號(MCE系列)
  • 閥門內(nèi)置并加裝氣動截止閥的型號,適合真空應(yīng)用(MCV系列)
  • 腐蝕性氣體型號(MCS系列,見下文)

另有:

  • 閥門安裝在外部的標準配置型號(MC系列)

閥門選項

您可以為您的質(zhì)量流量控制器定制以下一種閥門,以確保在預(yù)期過程條件下保持性能。

  • MCE系列—選配外部安裝的小型比例控制閥
  • MCV系列—選配內(nèi)部安裝的小型比例控制閥以及外部下游安裝的氣動截止閥

腐蝕性氣體(MCESMCVS系列)

MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器中,還有適用于腐蝕性氣體的“S"系列配置(即MCES和MCVS系列)可供選擇。在該配置中,我們將閥門升級為303不銹鋼閥門,傳感器升級為316L不銹鋼傳感器,彈性體材料升級為FFKM。

結(jié)構(gòu)選項

  • 通訊協(xié)議(模擬通訊,RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網(wǎng)/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS)
  • 顯示屏(單色或彩色,內(nèi)置或面板安裝)
  • 工藝連接件(NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO配件)
  • 彈性體材料(氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹脂)

性能選項

  • 流量累加器
  • 集成式電位計控制
  • 高精度或自定義校準

艾里卡特MCE系列真空氣體質(zhì)量流量控制器采用內(nèi)部安裝的小型比例閥門控制較小流量,適用于非腐蝕性氣體。

MCE-0.5SCCM-D
MCE-1SCCM-D
MCE-2SCCM-D
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MCE-20SLPM-D

艾里卡特MCES系列真空氣體質(zhì)量流量控制器采用內(nèi)部安裝的小型比例閥門控制較小流量,適用于腐蝕性氣體。

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艾里卡特MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器采用內(nèi)部安裝的小型比例閥門控制較小流量,適用于非腐蝕性氣體。MCV還配有一個下游用的氣動截止閥。

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艾里卡特MCVS系列真空氣體質(zhì)量流量控制器采用內(nèi)部安裝的小型比例閥門控制較小流量,適用于腐蝕性氣體。MCVS還配有一個下游用的氣動截止閥。

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反應(yīng)濺射氣體流量控制

以50ms控制響應(yīng)速度精確控制真空室內(nèi)反應(yīng)氣體的分壓以避免靶件噴涂過度,良好的分辨率保證了適當?shù)脑俞尫牛瑲鈩咏刂归y確保無流量時的正向切斷。

 

升級您老舊的熱式質(zhì)量流量控制器只是我們艾里卡特簡化真空鍍膜所用的一種方式。

選擇COMPOSER氣體混合校準固件

準確的。在不影響Alicat精度的前提下,為多達5種組成氣體中的每一種

MCDW系列低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器

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