PARK NX-20原子力顯微鏡

納米測量工具助推缺陷分析和大型樣品研究

作為一位缺陷分析工程師，你的任務(wù)是提供結(jié)果。而你的儀器所提供的數(shù)據(jù)不能允許任何錯誤的存在。Park NX20，這架精密的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著出色的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性，在半導(dǎo)體和硬盤行業(yè)中大受贊揚(yáng)。

更為強(qiáng)大的缺陷分析解決方案

Park NX20具備的功能，可輕易找出儀器缺陷的原因并幫助制定更多創(chuàng)意的解決方案。的精密度為你帶來高分辨率數(shù)據(jù)，讓你能夠更加專注于工作。與此同時，True Non-Contact™(真正非接觸)掃描模式讓探針*更鋒利、更耐久，無需為頻繁更換而耗費大量的時間和金錢。

操作簡單，入門級工程師的福音

PARK NX-20原子力顯微鏡擁有業(yè)界為友好的設(shè)計和自動界面，讓你在使用時無需花費大量的時間和精力，也無需為此時時監(jiān)督初級工程師。借助這一系列特點，您可以更為專注于解決更為重大的問題并為客戶提供及時且富有洞察力的失效分析。

技術(shù)信息

三維結(jié)構(gòu)研究的側(cè)壁測量

NX20的創(chuàng)新構(gòu)造讓您可以檢測樣品的側(cè)壁和表面，并測量角度。眾多的功能和用途正是您的創(chuàng)新性研究和深刻洞察力所需的。

表面粗糙度測量 - 媒介和基體

表面粗糙度測量是Park NX20的關(guān)鍵應(yīng)用之一，能夠帶來精確的缺陷分析和質(zhì)量保證。

高分辨率電性掃描模式

快的掃描式電容顯微鏡

無橫向摩擦導(dǎo)電原子力顯微鏡

True Sample Topography™(真正樣品掃描），讓壓電蠕變無影蹤

我們的原子力顯微鏡配有有效的低噪聲Z軸探測器，寬噪音帶寬僅有0.02 nm。這能夠帶來超精確樣品形貌，不受沿過沖影響，且無需校準(zhǔn)。這僅僅是Park原子力顯微鏡為您節(jié)省時間和帶來更好數(shù)據(jù)的方式之一。

技術(shù)特點

二維柔性導(dǎo)引掃描器，超大的100 μm x 100 μm掃描范圍

XY軸掃描器含有對稱的二維柔性和高強(qiáng)度壓電疊堆，可在保持平面外運動少的情況下，實現(xiàn)高正交運動以及納米級樣品掃描下的高響應(yīng)度。

低噪聲位置傳感器

 低噪聲Z軸探測器替代Z電壓，作為樣貌信號。此外，低噪聲XY閉環(huán)掃描可將正向掃描和反向掃描間隙降至掃描范圍的0.15%以下。

步進(jìn)掃描自動化

借助電動樣品臺，步進(jìn)掃描模式能夠允許用戶自行編程多區(qū)域成像。在重復(fù)成像過程中，該自動化功能可減少用戶的工作，從而提高生產(chǎn)力。

滑動連接超輻射發(fā)光二極管(SLD)鏡頭自動裝卸

燕尾式軌道設(shè)計，輕松更換原子力顯微鏡鏡頭。該設(shè)計可將鏡頭自動鎖定至預(yù)對準(zhǔn)的位置，并將其連接至控制電子元件，而重復(fù)定位精度只有幾微米。借助超輻射發(fā)光二極管(SLD)的低相干性，顯微鏡可精確成像高度反光表面和精密測量pico-Newton力對距光譜。此外，超輻射發(fā)光二極管的波長也解決了干擾問題，讓用戶可隨意在可見光譜實驗中使用原子力顯微鏡。

高級掃描探針顯微鏡模式和選項擴(kuò)展槽

只需要將可選模塊插入擴(kuò)展槽，您便可激活高級高級掃描探針顯微鏡模式。得益于NX系列原子力顯微鏡的模塊化設(shè)計，其產(chǎn)品線產(chǎn)品的兼容性大大提高。

高速24位數(shù)字電子控制器

所有NX系列的原子力顯微鏡都是由相同的NX電子控制器進(jìn)行控制和處理。該控制器為一個全數(shù)字、24位高速電子單元，能夠確保Park True Non-ContactTM模式下的成像精度和速度。憑借著低噪聲設(shè)計和高速處理單元，該控制器是納米級成像和精確電壓電流測量的選擇。嵌入式數(shù)字信號處理為原子力顯微鏡帶來更為豐富的功能，進(jìn)一步提升性價比，是高級研究員的理想選擇。

 XY和Z軸探測器的24位信號解決方案

·XY軸(50 μm)的分辨率為0.003 nm

·Z軸(15 μm)的分辨率為0.001 nm

嵌入式數(shù)字信號處理功能

·三通道靈活數(shù)字鎖相·彈簧常數(shù)校正（熱測法）

·數(shù)字Q控制

集成式信號端口

·可編程信號輸入/輸出端口

·7個輸入端口和3個輸出端口

高速Z軸掃描器，掃描范圍達(dá)15 μm

 借助高強(qiáng)度壓電疊堆和柔性結(jié)構(gòu)，標(biāo)準(zhǔn)Z軸掃描器的共振頻率高達(dá)9 kHz以上（一般為10.5 kHz）且探針的Z軸移動速率不低于48 mm/秒，讓信息反饋更為準(zhǔn)確。大Z軸掃描范圍可從標(biāo)準(zhǔn)的15 μm擴(kuò)展至40μm（可選購的遠(yuǎn)距離Z軸掃描器）。

電動XY軸樣品臺，可選配編碼器

 在電動樣品臺上加裝編碼器，可保證更高的重復(fù)定位精度，讓樣品定位更為準(zhǔn)確。在配備編碼器后，XY軸樣品臺的行程精度低至1 μm且重復(fù)定位精度低至2 μm，而Z軸樣品臺的行程精度和重復(fù)定位精度分別為0.1 μm和1 μm。

 可更換式樣品架

借助*的鏡頭設(shè)計，用戶可從側(cè)面操作樣品和探針。根據(jù)XY軸樣品臺所設(shè)定的行程范圍，用戶在樣品臺上可防止的大樣品體積為直徑150 mm x 20 mm或直徑200 mm x 20 mm。

直視同軸高倍顯微鏡，集成LED照明

定制物鏡配有超長工作距離（51 mm，0.21的數(shù)值孔徑，1.0 μm的分辨率），帶來*的鏡頭清晰度。直視同軸設(shè)計讓用戶可輕易地在樣品表面找尋目標(biāo)區(qū)域。為了達(dá)到更高的分辨率，我們采用了EL20x長行程物鏡，且工作距離為20 mm，數(shù)值孔徑為0.42，分辨率為0.7 μm。得益于CCD的大體積傳感器，樣品視角更寬，但分辨率卻不受影響。由軟件控制的LED光源能為樣品表面提供足夠的照明，以便清晰觀察樣品。

垂直配向的電動Z軸樣品臺和聚焦樣品臺

 Z軸樣品臺和聚焦樣品臺與懸臂連接，得以操控樣品表面，且同時能夠保證用戶有著清晰的視野。此外，得益于聚焦樣品臺為電動且可軟件控制，因此精密度可適用于透明樣品和液體單元應(yīng)用。