MarSurf WS 1 是基于白光干涉法使用的一種光學(xué)表面?zhèn)鞲衅鳌?該技術(shù)可實(shí)現(xiàn)快速和高精度表面形貌測量 并適用于大范圍不同材質(zhì)工件。
該設(shè)計與傳統(tǒng)干涉法相似 而不同的是 采用了白光而不是連續(xù)光。因?yàn)榘坠庥休^短的連續(xù)長度 所以在反應(yīng)表面形貌測量時 表現(xiàn)更的特性。 相比傳統(tǒng)干涉法 在測量高度時 高度信息可以被清晰顯示和分析。被測表面區(qū)域在CCD相機(jī)中顯示 表面區(qū)域和高精度參考表面通過物鏡面干涉 以相同比例成像(Mirau 物鏡) 通過分光器取樣圖形和參考圖形變得層次性 并在相機(jī)中獲得干涉。
在測量過程中 Mirau 物鏡可通過遠(yuǎn)程位置調(diào)節(jié)器在Z軸方向進(jìn)行小范圍移動 產(chǎn)生的干涉圖記錄為圖像堆和評定 終轉(zhuǎn)換為高度數(shù)據(jù)。

MarSurf WS 1 既可用于精密的實(shí)驗(yàn)室 也可以用于生產(chǎn)現(xiàn)場環(huán)境。
其他光學(xué)測量原理在測量不同類型表面時 很容易超出其測量范圍 其中一些不能實(shí)現(xiàn)高度反射表面測量 另外一些則甚至*不能正確測量粗糙表面。
MarSurf WS 1 及它革新的測量信號評定適用于反光工件表面和粗糙工件表面的分析。 例如 垂直方向高分辨率可進(jìn)行光學(xué)組件如透鏡或鏡片表面粗糙度次微米級精度測量。也可進(jìn)行微型機(jī)械組件表面質(zhì)地檢測 測量適用于各種材質(zhì)的工件 可測量玻璃、紙質(zhì)、油面、金屬、塑料、涂層和液體。
MarSurf XT 20 形貌測量軟件是一個強(qiáng)大的評定工具，擁有大范圍的功能。歸功于標(biāo)準(zhǔn) MarWin 軟件平臺 您也可以同樣從MarSurf XC 20 軟件獲益。

? 緊湊式傳感器
? 新的照明理念
? 通過USB進(jìn)行供電
? 高圖像比率 例如: 較短的測量時間
? 亞納米高度分辨率
? 測量時間 (包括評定 通常20至30秒)
? 組合式設(shè)計原理
? 可更換的照明及成像途徑
? 通過MarWin 標(biāo)準(zhǔn)形貌軟件進(jìn)行評定嶄新系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)