當前位置：上海華愛色譜分析技術有限公司>>氣體分析>>氦離子色譜儀>>硅烷純度分析氦離子氣相色譜儀

硅烷純度分析氦離子氣相色譜儀

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協議為準

產品型號GC-9560-HG

品牌

廠商性質生產商

所在地

在線詢價收藏產品查看聯系電話

聯系方式：秦小姐查看聯系方式

更新時間：2022-07-07 15:24:19瀏覽次數：568次

聯系我時，請告知來自環(huán)保在線

產品分類 品牌分類

  氣體分析

電子氣

特種氣體

氦離子色譜儀

高純氣體分析

全部產品列表

暫無信息

上海華愛色譜分析技術有限公司

經營模式：生產廠家

商鋪產品：57條

所在地區(qū)：上海上海市

聯系人：秦小姐（市場部助理）

詢價 給他留言

產品簡介

硅烷純度分析氦離子氣相色譜儀

詳細介紹

產品描述

電子工業(yè)氣體:
高純度硅烷氣體雜質組份的檢測
一，GC-9560-HG硅烷純度分析氦離子氣相色譜儀的應用領域：
硅烷在大規(guī)模集成電路（LSI）、超大規(guī)模集成電路（VLSI）和半導體器件制造中，用于氣相外延生長、化學氣相淀積等工藝（工序）。
1. 外延（生長）混合氣在半導體工業(yè)中，在仔細選擇的襯底上選用化學氣相淀積的方法，生長一層或多層的材料所用的氣體叫做外延氣體。常用的硅外延氣體有二氯二氫硅、四氯化硅和硅烷等。主要用于外延硅淀積，多晶硅淀積，氧化硅膜淀積，氮化硅膜淀積，太陽能電池和其他光感受器的非晶硅膜淀積等。外延生長是一種單晶材料淀積并生長在襯底表面上的過程。
2. 化學氣體淀積（CVD）用混合氣 CVD是利用揮發(fā)性化合物，通過氣相化學反應沉積某種單質或化合物的一種方法，即應用氣相化學反應的一種成膜的方法。依據成膜種類，使用的化學氣相淀積（CVD）氣體也不同。
二:硅烷中微量雜質的分析一直是色譜分析的難點。
目前多數采用的熱導檢測器由于靈敏度有限，很難測定5ppm以下的雜質；火焰離子化檢測器和氧化鋯檢測器是選擇性的檢測器，只能分析少數幾種氣體雜質，均不能很好的滿足硅烷氣體分析的基本要求。
PDHID檢測器（脈沖放電氦離子檢測器）是一種靈敏度*的通用型檢測器，對幾乎所有無機和有機化合物均有很高的響應，特別適合*氣體的分析，是*能夠檢測至ng/g（ppb）級的檢測器。

關鍵詞：氣相色譜儀電池