半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備首xuan東莞謙和水處理，謙和水處理專業(yè)生產(chǎn)超純水設(shè)備，純水處理設(shè)備，去離子水設(shè)備。

半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備的水處理系統(tǒng)工藝流程如下：                        

市政自來(lái)水→源水箱→源水增壓泵→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性碳過(guò)濾器→保安過(guò)濾器→高壓泵 →反滲透系統(tǒng)→中間箱→增壓泵→紫外線殺菌器→微濾器→EDI裝置→純水箱→氮封無(wú)菌儲(chǔ)水箱→增壓泵→拋光混床→用水點(diǎn)

一、   工藝概

1.預(yù)處理:

預(yù)處理主要是去除水中的有機(jī)物、懸浮物、膠體和余氯等，以確保RO能正常工作。處理工藝采用多介質(zhì)過(guò)濾、活性碳吸附，減少RO工作時(shí)產(chǎn)生垢物和藻類生長(zhǎng)及微生物污染及氧化劑。預(yù)處理系統(tǒng)包括：源水箱、源水泵、多介質(zhì)過(guò)濾、活性碳過(guò)濾。

2.源水箱：

源水首先流入源水箱。源水箱對(duì)源水的供給起到緩沖作用，協(xié)調(diào)源水的供給量與源水泵的輸入量。當(dāng)源水的供應(yīng)量超過(guò)源水泵的輸水量時(shí)，源水箱水滿，通過(guò)源水箱的液位控制使用源水供給停止。當(dāng)源水供應(yīng)量小于源水泵的輸水量時(shí)，源水箱空，源水泵停止運(yùn)行，起到保護(hù)源水泵的作用。

3.源水泵：

本系統(tǒng)配置一臺(tái)多級(jí)立式CHL4-40型特種離心水泵，用于對(duì)源水加壓，為預(yù)處理系統(tǒng)提供動(dòng)力源，該泵單臺(tái)流量4.0m3/h，揚(yáng)程40m，功率0.75kw，材質(zhì)為不銹鋼。該泵具有體積小，高效率，低噪音等特點(diǎn)。 

4.多介質(zhì)過(guò)濾器：

本系統(tǒng)是對(duì)源水中懸浮物、顆粒物及膠體等物質(zhì)進(jìn)行去除，同時(shí)對(duì)源水中的濁度、色度起到降低作用，它可濾掉源水帶來(lái)的顆粒、藻類等可見物。

多介質(zhì)過(guò)濾是一種*的微絮凝過(guò)濾方式，本公司提供的多介質(zhì)過(guò)濾器含有材質(zhì)各異的多層過(guò)濾介質(zhì)，完*濾除不溶于水中的雜質(zhì)，保證SDI值不大于4，是后級(jí)RO的強(qiáng)有力保護(hù)屏。能更好的去除水中的懸浮物或非溶解性粒子（氧化物、濁度、顆粒物等），具有低成本，操作維護(hù)、管理方便等特點(diǎn)，特別是在降低源水中的濁度、污染指數(shù)等方面具有很好的效果。

該系統(tǒng)設(shè)置一臺(tái)玻璃鋼多介質(zhì)過(guò)濾器，規(guī)格為φ16×65″，過(guò)濾器內(nèi)填精制的具有良好的級(jí)配石英砂和無(wú)煙煤，濾層高度一般≥1000mm，在正常工作情況時(shí)，正常流速8-12m/h，總產(chǎn)水量為3.5m3/hr。

多介質(zhì)過(guò)濾器反洗周期時(shí)間為16-48小時(shí)。反洗以壓力參數(shù)設(shè)備來(lái)控制反沖洗周期，當(dāng)進(jìn)出水母管上的壓力差達(dá)到0.7kg/cm2時(shí)即停止運(yùn)行進(jìn)行反沖洗，通過(guò)多路閥控制器進(jìn)行濾器順序反洗、氣擦洗、正洗工藝過(guò)程。

5.活性炭過(guò)濾器：

活性炭工藝在水處理領(lǐng)域中占有相當(dāng)重要的地位，是水深度處理中*的工藝，它所具有的某些特殊功效是其它水處理工藝所無(wú)法替代的。

去色:可去除由鐵、錳及植物分解生成物或有機(jī)污染物等所形成的色度。

脫氯:可去除因余氯所造成的嗅味。

去除有機(jī)物:可去除由于水源污染而常規(guī)工藝又無(wú)法去除的水中微量污染物，如農(nóng)yao，殺蟲劑，氯化烴，芳香族化合物，以及BOD與COD等。

去除有機(jī)氯:可去除在源水凈化過(guò)程中及自來(lái)水出廠前投加預(yù)氧化劑和消毒劑（如lu氣）所產(chǎn)的THMS等“三致”物質(zhì)。有分析表明，自來(lái)水中“三致物質(zhì)THMS占去大半，有效的去除對(duì)于提高水質(zhì)量十分關(guān)鍵。

去除氨氮和亞硝酸鹽:活性炭可有效去除氨氮和亞硝酸鹽。去除剩余氯或氧化劑，保護(hù)超濾、反滲透的濾膜,另外，它還可以除臭，去除水中的微量重金屬離子（如汞、鉻等離子），合成洗滌劑及放射性物質(zhì)等。

為保證系統(tǒng)設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行、出水水質(zhì)及出水流量、故障排除、反洗等穩(wěn)定因素，該系統(tǒng)配置一臺(tái)玻璃鋼活性炭過(guò)濾器，規(guī)格為φ16x65″，過(guò)濾器內(nèi)填精制果殼型活性炭，在正常工作情況時(shí)，正常流速10-15m/h，濾層高度一般為≥1000mm，總產(chǎn)水量3.5m3/hr。