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　MCY2005 壓阻真空測(cè)量?jī)x是單片微機(jī)控制的智能儀器，采用不同量程的壓阻真空規(guī)管，用于測(cè)量101～0.01KPa。由于壓阻規(guī)管輸出電壓是真空度的線性函數(shù)，因此在上述范圍內(nèi)，其測(cè)量精度和線性度很好，而且規(guī)管結(jié)構(gòu)牢靠，使用**長(zhǎng)，是比較理想的粗低真空測(cè)量?jī)x器。特別值得一提的是這種規(guī)管還可以作為壓力傳感器使用，對(duì)于需要真空度、壓力連續(xù)測(cè)量的場(chǎng)合極為適用。

1 . 主要技術(shù)指標(biāo)：

1.1 測(cè)量范圍： 101～0.01KPa

100～0.1KPa ±5‰±1字(滿度誤差)

1.2 配用規(guī)管： YZG-15A壓阻規(guī)管

1.3 電源電壓：交流220V 50Hz

1.4 使用環(huán)境： 5 - 30℃ 濕度 < 80%

1.5 外形尺寸： 96×96×140mm

開(kāi)孔尺寸： 92×92mm2

2.工作原理和使用方法：

2.1 工作原理：

壓阻真空規(guī)管是利用單晶硅的壓阻效應(yīng)制成的一種力敏器件。它以單晶硅為基體，按特定晶面，根據(jù)不同的受力形式分別加工成彈性應(yīng)變?cè)?，在彈性?yīng)變?cè)倪m當(dāng)位置，用集成電路工藝技術(shù)擴(kuò)散四個(gè)等值電阻，組成惠斯登電橋。當(dāng)不受壓力作用時(shí)，電橋處于平衡狀態(tài)；當(dāng)受到壓力作用時(shí)，一對(duì)橋臂電阻變大，另一對(duì)變小，電橋失去平衡。若對(duì)電橋加一恒定電流(電壓)，便輸出對(duì)應(yīng)于所加壓力的電壓信號(hào)，從而達(dá)到測(cè)量氣體壓力的目的。

由于這種傳感器的感受、**和檢測(cè)三部分同由一個(gè)元件實(shí)現(xiàn)，沒(méi)有中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，所以不重復(fù)性和遲滯等誤差極小。同時(shí)由于硅單晶本身剛度很大，形變很小，保證了良好的線性度，因此綜合精度**。

本儀器配套的YZ、YZG系采用美國(guó)**的OEM管芯組裝。YZ型壓阻規(guī)管系普通型絕壓管芯，YZG型壓阻規(guī)管系帶隔離膜封裝的絕壓管芯，用于有腐蝕性氣體及要求比較高的場(chǎng)合。

本儀器提供了壓阻真空規(guī)管工作所**須的恒流源，并接收規(guī)管送出的壓力信號(hào)。所有的調(diào)零、調(diào)滿度等均由軟件完成，并且用軟件對(duì)規(guī)管電流源的微小變化進(jìn)行補(bǔ)償，擴(kuò)大了規(guī)管的測(cè)量范圍。使用**方便。

儀器前面板如圖一所示：

圖1.儀器前面板示意圖

圖中：

1. 顯示器：用于顯示真空度數(shù)值，恒流電流值，輸出電壓值。

2. 單位指示燈

3. 增量按鈕

4. 移位按鈕

5. 減量按鈕

6. 確認(rèn)按鈕

2.2 儀器使用方法：

2.2.1 正常顯示方式：

開(kāi)啟儀器后，儀器顯示真空度。單位是KPa。按動(dòng)移位按鈕可改變真空度的單位，相應(yīng)的單位指示燈亮。

按組合鍵1（按［ENT鍵］后放手，再按［減量鍵］），可使儀器顯示輸出電壓值，單位為mV。再按一次這組鍵，可以使儀器顯示規(guī)管恒流電流值。第三次按這組鍵則返回真空度。

2.2.2 設(shè)置控制觸點(diǎn)動(dòng)作真空度的方法：

按組合鍵2（按［ENT鍵］后放手，再按［增量鍵］），顯示器左端顯示“1"，表示此后將顯示控制觸點(diǎn)1的動(dòng)作真空度。數(shù)秒鐘后，顯示器顯示原先設(shè)定的值。**高位作有規(guī)律的閃爍。如果顯示的動(dòng)作真空度數(shù)量級(jí)不正確，則首先應(yīng)調(diào)整數(shù)量級(jí)。連續(xù)按增量鍵數(shù)次，**高位由9進(jìn)位時(shí)，設(shè)定的動(dòng)作真空度數(shù)量級(jí)加一。重復(fù)這一過(guò)程，數(shù)量級(jí)不斷增加，直到100kPa.

按減量鍵數(shù)次，當(dāng)**高位由1退位時(shí)，設(shè)定的動(dòng)作真空度數(shù)量級(jí)減一，重復(fù)這一過(guò)程，數(shù)量級(jí)不斷減少，直到0.1Pa數(shù)量級(jí)。

數(shù)量級(jí)調(diào)整完畢后，**整設(shè)定的動(dòng)作真空度的各位。顯示器上不斷閃爍的這一位可以改變。按動(dòng)增量鍵可執(zhí)行加一操作，按動(dòng)減量鍵可執(zhí)行減一操作。按動(dòng)移位鍵可以使下一位閃爍。修改完畢后**要按ENT鍵一次，把它送入儀器內(nèi)部保存。

按ENT鍵后，設(shè)定的控制觸點(diǎn)1的動(dòng)作真空度將保存在儀器內(nèi)部。

這時(shí)顯示器左端顯示“2"，表示此后將顯示控制觸點(diǎn)2的動(dòng)作真空度。可以按照調(diào)整控制觸點(diǎn)1的動(dòng)作真空度的方法進(jìn)行調(diào)整。

2.2.3 校準(zhǔn)規(guī)管高真空時(shí)的零點(diǎn)的方法：

儀器初次使用或**換新規(guī)管或當(dāng)規(guī)管封接于高真空環(huán)境時(shí)，儀器顯示不為零，或者儀器的顯示發(fā)生閃爍，說(shuō)明儀器需要校零。

當(dāng)規(guī)管封接于高真空環(huán)境時(shí)，若真空度優(yōu)于1Pa,可以校準(zhǔn)規(guī)管的零點(diǎn)。方法是：開(kāi)機(jī)穩(wěn)定半小時(shí)后，按組合鍵3（按［ENT鍵］后放手，再按［移位鍵］后放手）三次。儀器顯示“CAL0"。等待數(shù)秒后，“CAL0"開(kāi)始閃爍，此時(shí)按下“ENT"鍵，儀器自動(dòng)校準(zhǔn)零點(diǎn)。如不需校準(zhǔn)零點(diǎn)或錯(cuò)誤進(jìn)入了校零模式，操作者可不用按**鍵，“CAL0"閃爍數(shù)秒后，會(huì)自動(dòng)回到測(cè)量顯示模式。

2.2.4 校準(zhǔn)規(guī)管滿度的方法：

一般不需校準(zhǔn)儀器的滿度。儀器初次使用或儀器偏離滿度過(guò)多或**換新規(guī)管后，可校準(zhǔn)儀器滿度。當(dāng)系統(tǒng)暴露**時(shí)（對(duì)于YZ—2、YZG—2壓阻規(guī)管），或者規(guī)管處于35Kpa 的真空度中（對(duì)于YZ—3、YZG—3壓阻規(guī)管），確認(rèn)規(guī)管聯(lián)接無(wú)誤。開(kāi)機(jī)穩(wěn)定半小時(shí)后，按組合鍵3（按［ENT鍵］后放手，再按［移位鍵］后放手）三次，儀器進(jìn)入校零模式。在儀器顯示閃爍以前，按下除“ENT"鍵以外的任一鍵，儀器顯示“FILL"，幾秒后儀器進(jìn)入設(shè)定滿度狀態(tài)。根據(jù)所處地區(qū)**壓，手工設(shè)定，操作方法同2.2.2。設(shè)定完后，按下“ENT"鍵。儀器完成滿度校準(zhǔn)。顯示為101kPa，或者35KPa。**須注意，對(duì)儀器設(shè)定和校準(zhǔn)滿度時(shí)，**須確認(rèn)規(guī)管處于該規(guī)管的滿度壓強(qiáng)下，否則將嚴(yán)重影響儀器的測(cè)量精度。