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GVC-2000磁控濺射儀

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更新時間:2022-01-12 11:48:43瀏覽次數(shù):256次

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磁控離子濺射儀為掃描電鏡用戶在制樣過程中提供了更廣泛的選擇,以便適用支持掃描電子顯微鏡所需的涂層要求

  磁控離子濺射儀為掃描電鏡用戶在制樣過程中提供了更廣泛的選擇,以便適用支持掃描電子顯微鏡所需的涂層要求。磁控濺射的原理是,在電場內(nèi)在疊加一個磁場,這樣電子在疊加場內(nèi)做螺旋運動,行程很長,每個電子電離的氣體分子比直流多很多很多,所以可以在低電壓下,有較好的真空度。濺射產(chǎn)生同樣的鍍膜效果。但是因為磁控真空度相對高,所以鍍膜的顆粒小,膜層附著力好,靶材的利用率也高。   在直流濺射過程中,樣品的溫升主要來自于負(fù)離子在電場作用下對樣品的轟擊,在磁控濺射中,負(fù)離子都被磁場束縛了,所以基本沒有對樣品的轟擊,所以溫升基本沒有,很適合溫度敏感性的樣品制備。

磁控低電壓為600V,直流等離子電壓為2400V.

磁控真空度為3Pa,直流等離子真空度為7-10Pa。

濺射技術(shù)

  在電子顯微鏡領(lǐng)域內(nèi),往往需要對樣品進(jìn)行表面鍍膜從而使樣品表面成像或者圖像質(zhì)量得到改善。在樣品表面覆蓋一層導(dǎo)電的金屬薄膜可以消除荷電反應(yīng),降低電子束對樣品表面的熱量損傷,可以提高SEM對樣品進(jìn)行形貌觀察,所需要的二次電子信號量。噴金后可以提供二次電子產(chǎn)額,提升信號強度和圖像質(zhì)量。

               

    濺射電流12mA,濺射時間10s        濺射電流10mA,濺射時間20s              濺射電流12mA,濺射時間30s       濺射電流10mA,濺射時間60s   

系統(tǒng)特點:

○ 儀器采用微處理器控制,自動化程度高精確控制、易于操作;

○ 低電壓、較好真空度下的實現(xiàn)大電流濺射,可濺射金、銀、銅、鉑等常用金屬靶材;

○ 金膜顆粒絕大多數(shù)<10nm,顆粒更細(xì),均勻度更好,附著力更強,觀測效果更佳;

○   靶材利用率更高,磁控濺射靶材利用率為直流濺射的2倍,為用戶節(jié)約靶材費用.

○ 電子和負(fù)離子被磁場束縛在靶材附近,鍍膜過程中基本沒有溫升,適用溫度敏感性樣品;

○ 采用微處理器控制,擴展性能好,可實時顯示真空度、濺射電流、濺射時間、設(shè)備運行時間、靶材使用時間等,方便了解設(shè)備情況,具備過流、真空保護(hù)功能,安全可靠;

○ 內(nèi)置用戶使用向?qū)Ш驼f明書,方便用戶 操作;內(nèi)置膜厚估算公式,便于用戶了 解鍍膜狀態(tài);

                                  





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