GSL-LCD是一款多路質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜里，移動(dòng)柜極大可以承重1000Lbs，所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時(shí)，可將管式爐置于移動(dòng)柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一6"的觸摸屏上，同時(shí)可以實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn)。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱 | 多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)--GSL-LCD(控制面板為觸摸屏） | |||
視頻 |
操作視頻 | |||
功能 | 雙通道 | 三通道 | 四通道 | 五通道 |
質(zhì)子流量控制器 | 工作溫度：5~45℃ 較大壓力：3×106Pa 精度：±1.5%FS 重復(fù)精度：±0.2%F.S. 流量范圍： 一路：1~199 SCCM 二路：1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用。 | 工作溫度：5~45℃ 較大壓力：3×106Pa 精度：±1.5%FS 重復(fù)精度：±0.2%F.S. 流量范圍： 一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用。 | 工作溫度：5~45℃ 較大壓力：3×106Pa 精度：±1.5%FS 重復(fù)精度：±0.2%F.S. 流量范圍： 一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用。 | 工作溫度：5~45℃ 較大壓力：3×106Pa 精度：±1.5%FS 重復(fù)精度：±0.2%F.S. 流量范圍： 一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM 五-九路可按照客戶要求定制。 |
輸入電源 | AC 220V/50Hz 單相 | |||
功率 | 23W | |||
PLC觸摸屏 | 各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在—6"的觸摸屏上。 RS485通訊接口和PC控溫軟件可連接到電腦上，進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。
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機(jī)械壓力表 | 有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接。 量程：0.1~0.15MPa（0.01MPa/grid） | |||
針閥 | 316不銹鋼 | |||
通氣管道 | 內(nèi)部連接管道為1/4"不銹鋼管。 外部通氣管道為1/4"聚四氟管。
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混氣罐 | Φ80×120 mm | |||
截止閥及配件 | 316不銹鋼針閥。 Φ1/4"不銹鋼管 | |||
外形尺寸 | 600L×745W×700H mm | |||
質(zhì)量認(rèn)證 | CE認(rèn)證 | |||
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)。 | |||
相關(guān)產(chǎn)品 | CVD&PECVD 管式爐
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