CS200質量流量計氣體配比器，CS200采用*傳感器和溫度補償技術，因此產品精度可以達到設定值1%以內，并且低溫度系數可以保證產品適應不同的環(huán)境溫度。同時，產品采用高速控制算法使整個流量計的響應時間方面更加岀色。全量程范圍內，CS200C產品可在800ms以內達到設定流量，響應時間將使用過程中產生的系統誤差最小化，所需流量更加精準。

詳細介紹

CS200質量流量計氣體配比器

CS200質量流量計氣體配比器 KT-C4ZS模擬質量流量控制器高精度型,快響應型流量控制流量檢測國際兼容用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)

CS200氣體質量流量控制器，采用*傳感器和溫度補償技術，因此產品精度可以達到設定值1%以內，并且低溫度系數可以保證產品適應不同的環(huán)境溫度。同時，產品采用高速控制算法使整個流量計的響應時間方面更加岀色。全量程范圍內，CS200C產品可在800ms以內達到設定流量，響應時間將使用過程中產生的系統誤差最小化，所需流量更加精準。

• 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時進行相應的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現象，保證了傳感器線性。

• CS200C產品采用專門的金屬表面處理技術，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS200C產品金屬表面粗糙度更可達10RA以下，CS200D產品金屬表面粗糙度可達25RA。

• CS200產品嚴格按照SEMI標準生產制造，尺寸符合國際通用的SEMI標準。

• CS200系列產品支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數字，模擬輸入輸出。

• 產品支持RS485，DeviceNet通訊方式。

• 具有多氣體多量程功能、自動歸零功能、報警功能、軟啟動功能、延遲功能及功能強大的免費客戶端使用軟件。

技術參數

CS200
類型	CS200-A		CS200-C		CS200-D
閥類型	常開(100 SCCM≤流量規(guī)格≤5 SLM) 或常閉	無	常開(100 SCCM≤流量規(guī)格≤5 SLM) 或常閉	無	常開(100 SCCM≤流量規(guī)格≤5 SLM) 或常閉	無
流量規(guī)格(N2)	(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM		(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
準確度	±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
線性	±0.5% F.S.
重復精度	±0.2% F.S.
響應時間	≤ 1sec		≤ 0.8sec
工作壓差范圍	0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量規(guī)格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量規(guī)格≤50SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM 0.1～0.35MPa 流量規(guī)格＞10SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM 0.1～0.35MPa 流量規(guī)格＞10SLM	＜0.02 MPa
工作壓力	0.45MPa
溫度系數	零點： ≤±0.05% F.S./℃；調節(jié)時： ≤±0.1% F.S./℃ 流量規(guī)格≤30SLM 調節(jié)時： ≤±0.2% F.S./℃ 流量規(guī)格＞30SLM		零點： ≤±0.02% F.S./℃；調節(jié)時： ≤±0.05% F.S./℃
耐壓強度	3MPa
漏率	1×10^-10 Pa·m³ / sec He		1×10^-11 Pa·m³ / sec He
密封材料	氟橡膠		金屬密封
工作環(huán)境溫度	（5～45）℃		（0～50）℃
輸入信號	數字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA	無	數字： RS485 或DeviceNet 或 ProfiBus 模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA	無	數字： RS485 或DeviceNet 或 ProfiBus 模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA	無
輸出信號	數字：:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA
零漂	在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年
電源	±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極)
表面化學成分	常態(tài)		Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 （埃）		常態(tài)
表面粗糙度	25 Ra		10 Ra		25 Ra
標準接頭形式	雙卡套 φ6；雙卡套 1/4′′；雙卡套 3/8′′；VCR1/4′′陽接頭；雙卡套φ3；雙卡套 1/8′′；VCO 1/4";φ6(內)x1 軟管接頭; φ5(內)x1.5 軟管接頭； φ4(內)x1 軟管接頭;雙卡套φ10mm；A 型密封接頭;		雙卡套φ3；雙卡套φ6；雙卡套 1/4；VCR1/4 陽接頭； 1.5′′C 型密封接頭;1.5′′ W型密封接頭
電源接頭形式	D 型 9 針陽接頭；D 型 15 針陽接頭；DeviceNet 接頭； ProfiBus 接頭；模擬接頭
重量	1 Kg	0.8Kg	1.2Kg	1Kg	1.2Kg	1Kg