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蘇州華陸儀器儀表有限公司


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氣體微型流量計

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產(chǎn)品型號HLMFM

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更新時間:2022-10-16 12:45:12瀏覽次數(shù):264次

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商鋪產(chǎn)品:72條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:吳先生

產(chǎn)品簡介

氣體微型流量計可實現(xiàn)小流量測試,精度高,氣體微型流量計低功耗便攜式設計,氣體微型流量計RS485通訊方式可實現(xiàn)網(wǎng)絡集中化管理,氣體微型流量計實時監(jiān)測瞬時流量和計算累計流量,氣體微型流量計密碼管理,超限報警,氣體微型流量計友好的接口方式,實用于各種氣體監(jiān)測的應用場合,氣體微型流量計銅制管體能夠用于各種氣體介質(zhì)測量,氣體微型流量計體積小,易于安裝。

詳細介紹

氣體微型流量計

質(zhì)量流量計傳感器采用微機械加工技術,實現(xiàn)微小流量測量,其特點是可靠性高、重復性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應時間較快,測量精度高,無需要溫度壓力補償,廣泛應用于輕工、化工、環(huán)保及半導體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。

工作原理:

感熱式芯片技術是采用大規(guī)模集成電阻的工作,在芯片上,一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上,采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導,使動態(tài)響應時間大大提高,當傳感器工作時,微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差(通常是70℃),在芯片周圍形成固定的溫度場分布,如果氣體是單向流動,則在氣道中溫度場可用下述公式來計算:

式中:氣體流動方向為x,速度為v,a為擴散率。如上圖(式)所示,當氣體流過芯片時,將會帶走熱量,通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對應關系來計算流體的質(zhì)量流量。

產(chǎn)品特點:

·產(chǎn)品集成度高,集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體,并可實現(xiàn)自動調(diào)節(jié)、控制閥門

·微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術和材料加工技術,使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升

·微小流量氣體測量,ml/min級的微流量測控,實現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化

·單個芯片的**流量特性的微處理技術,使流量計的量程范圍大大提高

·機電一體化優(yōu)化設計,智能化的數(shù)據(jù)處理技術,使流量計具有更好的重復性,實現(xiàn)了計量的準確、可靠

·結(jié)構的優(yōu)化,流量計的壓力損失達到*小化

·采用國際*新的傳感技術,使流量計工作更穩(wěn)定、可靠

·開創(chuàng)零點自校功能,測量更準確

·多種氣體實際標定,全量程補償

·快速響應、數(shù)據(jù)自動存儲,配合上位機可實現(xiàn)網(wǎng)絡集中管理

·規(guī)格齊全,量程范圍寬,可根據(jù)用戶要求單獨標定

·精度等級高,滿足用戶高精度測量要求

·的流量計報警功能,使監(jiān)控更可靠

·操作、設置界面友好、簡便,可根據(jù)需要自行設定相關參數(shù)

·運用行業(yè)多,是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代的優(yōu)選

技術參數(shù):

·測量介質(zhì):各種氣體(乙炔氣和混合氣體除外)

·測量管徑:DN3,68,10

·流量范圍:DN3 30-300ml/min

DN6 60-600ml/min

DN8 80-800ml/min

DN10 100-1000ml/min ;10,20,30,50,80,100SLPM量程可定制。

·流量測量準確度:±1.5%FS;±2.5%FS

·工作溫度范圍:-25℃-55

·工作壓力范圍:0.3MPa,0.6MPa,1.0MPa

·供電電源:24VDC±10%

·輸出信號:4-20mA,RS485通訊;

·環(huán)境溫度:-25-55

·顯示位數(shù):瞬時流量為三位,累積流量10位。

外觀尺寸

L

D

H

G

DN3

74

30

127

G1/8

DN6

74

30

127

G1/4

DN8

90

30

127

G3/8

DN10

130

35

127

G1/2

氣體微型流量計鏈接:

蘇州華陸儀器儀表有限公司-氣體微型流量計 2011

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